中古 SEMITOOL SAT 2080S #9134041 を販売中

SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipmentは、半導体デバイスを精密にエッチングするために設計されたサブミクロンスケールのウェットエッチングシステムです。このユニットは、エッチングプロセスを簡単かつ正確にするソフトウェアインターフェイスによって自動的に制御されます。このマシンは、中央のコントロールパネル、2つのフォトレジストインジェクタ、およびウェーハを整列させるための基板ホルダーで構成されています。さらに、エッチングチャンバーに反応性ガスを供給するために、複数のノズルを備えた単一のガスラインと、精密な圧力および流量制御モジュールを備えています。フォトレジストインジェクタは、デバイスのサイズと形状に基づいた最適なパターンで、ウェーハに正確なフォトレジストを直接分配するために使用されます。フォトレジストを適用した後、特定の領域でフォトレジストを活性化するために使用される光源にさらされます。露出していないフォトレジストをエッチングし、使用する光源に対応するパターンを残します。その後、基板ホルダーにウェーハを配置し、ウェーハに正確な圧力をかけるための高さを調整できます。調節可能な高さと圧力制御により、基板への物理的ストレスが少ない最適化されたエッチングプロセスを提供します。さらに、エッチング前に基板に洗浄および反射防止コーティングを施すことで、最適な表面条件を確保し、反りを低減します。ガスラインは、エッチングチャンバーに反応性ガスを提供するために、ツール全体に接続します。このガス管は一貫した、信頼できる流れの配分およびエッチング部屋への均一な露出を提供します。さらに、このアセットには圧力およびフロー制御モジュールが含まれており、チャンバへの反応ガスの流れを正確に制御し、エッチングプロセス全体が正確かつ正確であることを保証します。最後に、中央のコントロールパネルを使用すると、オペレータはモデル全体を監視および制御できます。このパネルには、クイックスタートアップシーケンス、ステータス、診断、および診断履歴の読み出しが装備されています。パネルのグラフィカルユーザーインターフェイスは、オペレータにとって機器のセットアップとメンテナンスを簡単かつ効率的にします。SAT 2080Sフォトレジストシステムは、洗練された精度で半導体デバイスをエッチングするための強力なツールです。統合されたコンポーネントとコントロールを備えたこのユニットは、世界中のメーカーにとって理想的なソリューションです。