中古 SEMITOOL SAT 2060D #151789 を販売中

SEMITOOL SAT 2060Dフォトレジスト装置は、商業、実験室、研究アプリケーションに最適なコンパクトで費用対効果の高いフォトレジスト加工ソリューションです。このシステムは、正確なウェットクリーニングステップと高度なポストレジストベーキングステップを提供することができます。このユニットは、完全に自動化されたレシピ主導のアプローチにより、一貫した信頼性の高い結果を提供するために、使いやすく、操作し、維持しやすいです。SAT 2060Dは、より高いスループット生産を可能にするデュアルトラック設計を備えています。デュアルトラック設計により、ウェーハキャリアエリアへのアクセスが容易になり、人間工学およびオペレータの安全性が向上します。このマシンは、APC （Advanced Process Control）を使用して、加熱および冷却ランプレートを正確に制御し、正確なタイミングと温度を保証します。また、このツールには自己診断とレシピプログラミングが組み込まれており、一貫した信頼できるパフォーマンスを保証します。この資産は、2つの独立したウェーハキャリアを2つの別々のプロセスに使用しており、マルチステップレジストストリップ操作に最適です。このモデルは、サイクルごとに3、5、または8-Modules、または追加のオプションモジュールを備えた標準的な8-Module構成の4つの異なるセットの選択肢を提供します。SEMITOOL SAT 2060Dは、高度なSCADA（監視制御およびデータ収集）技術を使用して、精度、プロセス制御、アラーム監視を向上させます。このシステムは、再使用可能または使い捨て可能なウェーハキャリアを選択でき、正確なウェットクリーニングプロセス、エンドポイント読み取り、ウェーハ位置調整、およびポストレジストベーキングプロセス手順を提供します。構成に応じて、1時間あたり最大1,500個のウェーハを実行できます。また、希釈フッ化水素酸（HF）や硫酸（H2SO4）溶液など、さまざまな化学物質から選択することもできます。SAT 2060Dは、さまざまなフォトレジスト加工アプリケーションに最適な幅広い機能と柔軟性を提供します。短いサイクル時間、正確なエンドポイント読み取り、ウェーハ位置調整により、商業、実験室、研究用途に最適です。単位はそれを精密、信頼性および費用効果を提供する信じられないほど信頼できるフォトレジスト機械にする各走行の一貫した、信頼できる結果を提供できます。