中古 SEMITOOL SAT 20605 #293830238 を販売中

SEMITOOL SAT 20605は、半導体ウェーハおよび基板を処理するための正確で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションを提供するために設計された最先端のフォトレジスト加工装置です。このシステムは、スピンコーティングやポストベーク、画像転送、露出、ウェットおよびドライエッチング、電気めっき、ストリッピングなどのさまざまな技術を通じてウェーハを処理するように設計されています。ユニット全体は、最大の効率と使いやすさのために4つの独立したメインモジュールに収容されています。マシンの心臓部は、均一なパターンでウェーハにフォトレジストを届け、それらを光にさらし、処理後にレジストを開発するために使用されるレジストプロセッサモジュールです。プロセッサモジュールには、4つのステーションと、ウェーハの処理に必要なその他のツールやコンポーネントが含まれています。最初のステーションはスピンコーターとそれに関連する発熱体で構成されており、フォトレジストをウェーハに均等に広げ、レジストを裏返して硬化させます。2番目のステーションにはマスクアライナーがあり、ウェーハを照明パターンにさらし、マスクをスピンコートウェーハに正確に配置するために使用されます。3つ目のステーションには、光強度を監視および調整する画像検出器と、露出後のベーク用の基板ホットプレートが含まれています。4番目のステーションには、プラスチック樹脂マニピュレータとウェット処理用の他の多くのコンポーネントが含まれています。フォトレジスト処理とイメージングの後、ウェハはウェットケミストリーと導電膜の電気めっきのためにストリップモジュールに移動します。モジュールの外装はレジストプロセッサに似ていますが、内部には電気メッキ前に必要に応じてシリコンウェーハを事前にクリーニングしてエッチングする化学制御が含まれています。このツールには、電流密度や枯渇などのユーザー調整可能なめっきパラメータも含まれています。ストリップモジュールには、加熱洗浄ステーション、スプレーオンレジストストリッパー、非塩素化有機溶剤、水酸化アンモニウム処理などの追加の湿式加工ツールも含まれています。これらのツールはすべて、洗浄、エッチング、および電気めっき機能の完全なスイートを提供するように設計されています。3番目のモジュールは真空モジュールで、ガラスやポリイミドなどのより繊細なウエハ基板を処理する機能を提供します。このモジュールは、真空硬化、結合リガンド、ソフトベーク、露出など、さまざまな技術を利用したモデルで最も先進的です。このモジュールには、真空チャンバ、その他の多数のコンポーネントとツール、および基板を検査するための表示ウィンドウが含まれています。最後に、このモジュールには、機器の制御と監視に必要なソフトウェアとハードウェアが含まれているControl Moduleが含まれています。Control Moduleには、プロセス段階、システム温度、および制限を監視するために使用される3つの個別の制御システムが含まれています。また、データロギング、メンテナンスアラート、レシピ作成と制御、アラーム通知などの多くの機能も含まれています。要するに、SAT 20605フォトレジストユニットは、費用対効果の高い方法でウェーハを処理するための信頼性の高いソリューションを提供するように設計されています。4つの相互接続モジュールで構成されており、それぞれ独自のコンポーネントと機能を備えており、統合された使いやすいプロセス制御マシンを提供するために包括的な制御モジュールと結合されています。