中古 SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U #293628381 を販売中

SEMITOOL SAT 111（25 08） 0Uは、ウェーハのクリーニングとコーティング用に設計された完全自動フォトレジスト装置です。このシステムは、大量生産とプロトタイプ生産の両方に適しています。基板処理、エッチング、ポストコーティングプロセスを厳密に統合し、レジストコーティングプロセスの包括的なソリューションを提供します。SAT 111は、高度なコンピュータコントロールシステムのフォワーファセンシングとハンドリング、エッジ制御、レシピ管理、メインコントロールを利用しています。その主な特徴は、一貫した画質のオートフォーカス装置、直径200mmまでの基板を扱うことができる単一の熱化ロールツーロールプロセス、および高度なベーク制御および温度監視システムです。レジストケミストリーは、幅広いウエハサイズで均一なレジストカバレッジを提供するように設計されています。自動化されたウェハハンドリングマシンは、信頼性の高い基板輸送を提供します。このツールのエッジ制御により、エッジ投与精度を向上させるための均一なエッジ露出が保証されます。その高度なレシピ管理アセットにより、ユーザーはあらゆるウエハサイズ範囲のレシピをすばやく選択できます。ベーク制御モデルは、性能と品質を向上させるための正確な熱プロファイルを提供するように設計されています。SAT 111は、専用のエッジ抽出装置も備えています。手動取り扱いを省き、正確なエッジ検査性能を実現します。このユニットはまた、保護されていない基板への損傷を防ぐランプアップ保護機を備えています。自動化された機能に加えて、SAT 111はさまざまな安全機能を提供します。それは衝撃保護および過電流モニターを含む厳密な安全基準に、従うために造られました。このツールは、温度ロギングや周波数モニタリングなどの強化されたモニタリングオプションも提供します。また、プロセス全体を通じてユーザーをガイドする直感的なユーザーインターフェイスも提供しています。SEMITOOL SAT 111（25 08） 0Uは、ウェーハクリーニングとコーティングの厳しいニーズを満たすように設計された強力で信頼性の高いフォトレジスト資産です。自動化されたウェーハハンドリング、高度なレシピ管理、ベイクコントロール、高い安全基準を備えたSAT 111は、フォトレジストコーティングプロセスの包括的なソリューションを提供し、大量生産とプロトタイプ生産の両方に最適です。