中古 SEMITOOL SAT 1060S(0A1P) #9121332 を販売中

SEMITOOL SAT 1060S （0A1P） Photoresist Equipmentは、フォトレジストおよびフォトレジストのスラブの剥離と剥離に使用されるケミカルストリッピングおよび剥離ユニットです。このユニットは、さまざまなフォトマスクのニーズを満たすように設計されています。システムはステンレス鋼のキャビネットと組み立てられ、最高の熱伝達および化学薬品の安全のために中に10ガロンのニッケルめっきされたタンクがあります。ケミカルタンクには、温度制御されたボトムフィルリザーバー、排水ポンプ、再循環ヒーティングコイルが装備されています。上部は、オペレータが溶液流量とプレート温度制御にアクセスできる場所でもあります。ユニットは4つの主要な部分で構成されています。ポンプ、加熱コイル、再循環、および原子炉。ポンプを使用して、フォトレジスト溶液を加熱コイルにポンプで送ります。再循環器は、それが原子炉に導入される前に加熱フォトレジスト溶液を循環するために使用されます。原子炉は、紫外線にさらされている間フォトレジスト溶液を収容するステンレス製のクラッド容器を囲んでいるため、光活性になります。機械は3つの独立したプログラマブルコントローラーシステムを使用して制御されます。これらのコントローラは、ツールの温度、時間、圧力、電流を監視および制御します。また、資産のサイクルレート、ドラム速度、スプーラー圧力も管理します。このモデルは、安全で効率的で環境に優しい操作のために設計されています。その静水圧チャンバーは、危険な露出から写真マスクを保護するのに役立ちますが、機器は測定し、自動的に化学浴槽の温度と圧力を調整します。また、SEMITOOL SAT 1060S （0A1P）にはケミカルリテイニングバルブとダイレクトエアインジェクションノズルが装備されており、オペレータが使用されている化学物質にさらされるのを防ぎます。このユニットには2つの浮遊蓋とPトラップがあり、常に待機する必要なく動作することができます。SEMITOOL SAT 1060S （0A1P）フォトレジストシステムは、フォトレジストストリッピングと再生に最適です。効率的で安全な設計と豊富なオートメーションおよび化学保持機能を組み合わせることにより、このユニットは、任意のフォトマスク工場がピーク性能を維持し、高品質のマスクを生産するのに役立ちます。