中古 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265378 を販売中

SEMITOOL/RHETECH WST-306ACフォトレジスト装置は、半導体業界の厳しい要求を満たすように設計された高性能フォトレジスト加工システムです。直径300mmまでの基板に対応できる信頼性の高い堅牢なユニットで、プロセス再現性は± 2 μ mです。さらに、このマシンは超低コストの所有権を備えており、オペレータのメンテナンスを最小限に抑えて最大のスループットを提供します。RHETECH WST-306ACフォトレジストツールには、高精度、自動基板ローディング、アンロード、および基板プレゼンテーションを提供するロボット基板ローダが含まれています。SEMITOOL WST-306ACにはデュアルチャンバーオプションが装備されており、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大化するために基板を処理するための2つの独立したチャンバーを提供します。WST-306AC資産の抵抗のスプレーヤーは動的範囲内の一定した圧力および/または流れを維持する高精度、低粒子カウントのスプレーヤーです。また、スプレーパターンを正確に制御し、厚みに抵抗するメニスカス制御ループも備えています。この装置は、レジスト充填時に手動で介入する必要なく、非常に高速でレジストを正確に適用する機能を備えています。SEMITOOL/RHETECH WST-306ACシステムは、高度なイメージングオプティクスと統合され、プロセスの可視性を向上させます。イメージングオプティクスは、レジストフィルパターンに関する詳細な情報を提供するために使用できる超高解像度の画像を送信します。さらに、このユニットには、プロセス結果を表示するための高度なメッセージ表示ボードが組み込まれています。RHETECH WST-306ACフォトレジストマシンは、コーティングされたガラス光学系で優れた光学性能を提供し、レーザー干渉計と正確に整合させ、最高の効率と正確な画像処理を実現します。このツールには高度な制御アセットも装備されており、レジスト沈着、温度、圧力を正確に制御できます。さらに、自動基板識別、自動ロード/アンロード、高度な自己診断機能を備えた高度な自動化を実現しています。結論として、SEMITOOL WST-306AC半導体生産におけるフォトレジスト加工の理想的なプラットフォームとして機能します。このモデルは、最新の半導体産業のニーズを効果的に満たすために、極めて正確さ、正確なプロセス制御、および最先端のオートメーションを備えています。