中古 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265377 を販売中

SEMITOOL/RHETECH WST-306ACはウェーハ基板加工用フォトレジスト装置です。このシステムは、ICやMEMSアプリケーションなどの半導体処理に最適で、スループットと精度を向上させるための「スマート」機能を多数搭載しています。RHETECH WST-306ACは、ウェーハ加工用に独自の「マイクロプロセッシング」プールヒーターを使用し、より均一で正確な温度制御を提供します。このユニットはまた、SubRack™設計を備えており、最大3つの小型フットプリントモジュールを挿入することができます。このモジュラー設計はユーザーが特定の必要性に従って機械をカスタマイズすることを可能にします。プールヒーターに加えて、このツールには化学配送、廃棄物処理、オーブンモジュールを装備することができ、明確な使用ポイントまたはバッチ操作を可能にします。SEMITOOL WST-306AC Photoresist Assetは「スマート」技術を使用して構築および設計されており、処理精度とスループットを向上させます。例えば、プロセスコントローラには「ウェーハフロー」機能が搭載されており、プロセス全体で基板の進行を追跡することができます。この機能により、プロセスの期間中、所定のポイントでウェーハパラメータを自動的にチェックできます。その他のスマート機能には、プロセスレシピ制御、高速サイクルタイム、およびレシピトラッキングがあります。パルスリバースを使用すると、装置はフォトレジストプレミックス、リンス、ベーク温度、ベーク時間パラメータを正確に制御できます。このパルスリバース技術は、マイクロ秒の精度で制御することができ、非常に反復可能です。WST-306ACはまた残骸の蓄積を減らすことができるフォトレジストのashingプロセスを特色にします。このシステムには、過熱保護、オーバーライド保護、サーマルシャットダウンなどの冗長安全機能が装備されています。これらの機能は、不適切な操作やオペレータのエラーから保護します。SEMITOOL/RHETECH WST-306AC Photoresist Unitは、半導体ウェーハ処理に最適なツールです。「スマート」技術、パルスリバース、SubRack™設計などの機能により、無駄やダウンタイムを最小限に抑えながら、効率的かつ制御された処理が可能です。