中古 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9288369 を販売中

SEMITOOL/RHETECH ST-870フォトレジスト装置は、集積回路を製造するために、ウェーハ上にフォトレジストを堆積させるために開発された装置です。フォトレジストは、フォトマスクからウェーハや基板の表面にパターンを転送するためのマイクロエレクトロニクス製造に使用される感光材料です。RHETECH ST-870はパワフルで信頼性の高いシステムで、高精度なフォトリソグラフィープロセスを提供します。SEMITOOL ST-870は、基板アライメントロボット（SAR）モジュールから始まり、高精度な基板アライメントを提供し、正確なオーバーレイとフォーカスを実現します。その自動化されたローダーはフォトレジストを保ち、粒子生成を減らすための特別な冷却された部屋を含んでいます。また、搭載前にウェーハの欠陥を確認するためのオンボードビジョンユニットを装備しています。この機械には、蒸着室の温度と圧力を制御するために必要な加熱または冷却されたガスを提供するガス供給モジュール（GDM）も含まれています。次のコンポーネントは、ウェーハの均一で迅速な加熱と冷却を提供する真空蒸着源とデュアルベーク技術で構成される蒸着モジュールです。さらに、スプレーヘッドを装備し、さまざまなスプレー角度と動作圧力を実現し、フォトレジストスプレーパターンをより制御することができます。また、アスペクト比の高いデバイスでも均一なカバレッジを保証する低流量誘電体バブラーを使用しています。最後に、フォトレジストは、高出力のパルスUV TLD光源を使用して適用されます。それはユーザーが困難な次元および堅い幾何学に会うことを可能にする高い柔軟性を提供します。光源には、フォトマスクとの正確なパターニングとアライメントを確保するためのアングルロックも装備されています。このアセットは、標準の8-12インチ、300mm、 450mmなどのさまざまな種類のウェーハに使用できます。全体として、ST-870は強力で信頼性の高いフォトレジストモデルで、複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスを生成するための高いレベルの精度と精度を提供します。その自動ローダーと誘電性バブラーは、フォトレジストの滑らかで均一なコーティングを保証します。高性能な光源により、正確なパターニングとアライメントが可能であり、温度とガス供給モジュールにより、ウェーハの均一な加熱と冷却が可能です。SEMITOOL/RHETECH ST-870は、ターゲットを絞った精密なマイクロエレクトロニクス回路の製造に最適です。