中古 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265370 を販売中

SEMITOOL/RHETECH ST-870は、高度なエッチングおよびパターニングプロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、さまざまな機能サイズとアスペクト比を提供するように設計されており、何千もの異なる電子部品のナノスケールパターンを作成するために使用されます。フォトレジストユニットには、エキシマレーザー、ビームスキャン機、磁気ヘラ、加熱オーブンが含まれています。エキシマーレーザービームは、フォトレジスト材料を照明するために使用され、ビームスキャンツールによってパターン化されます。磁気ヘラは、パターン化された材料をシリコンウェーハなどの基板に転送するために使用されます。その後、加熱されたオーブンを使用してフォトレジストを焼き、一貫した表面を確保します。RHETECH ST-870は、精密エッチングおよびパターニングプロセスのニーズに対応するさまざまな機能を提供します。248nmの波長を持ち、精密なリソグラフィが可能です。このアセットは、より大きな部品に最大40mmのフィールドサイズを提供し、0。1ミクロンの精度で安定しています。このモデルは、焦点と基板サイズに応じて0。1-3m/minに設定できるフロー制御を備えています。さらに、SEMITOOL ST-870は、シャドーイングと光学的損失を最小限に抑えるように設計されたアクティブなインシデント角度制御を備えています。ST-870は、高速リソグラフィ、精密パターニング、およびさまざまなコンポーネントの高度なエッチングを提供する優れたフォトレジスト機器です。それは正確な特徴サイズおよび完全なアスペクト比のナノスケールパターンの作成を可能にします。このシステムは、さまざまなフォトレジストで動作し、高度なエッチングおよびパターニングプロセスのための汎用性と信頼性の高いオプションとなります。