中古 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265367 を販売中

SEMITOOL/RHETECH ST-870は、ユーザーがフォトレジスト基板のコーティング、開発、イメージングなどの重要なプロセス手順を達成できるように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムには、基板に到達し、フォトレジストプロセスで複数のシーケンシャルステップを通過する精密ロボットアームが装備されています。このユニットは、プロセス・モードと露出制御ソフトウェアを使用して、正確な入浴温度制御、写真処理時間、および膜厚の事前設定検出を行います。また、基板認識用のトップカメラ、高解像度モニター、高精度画像解析ツールを搭載しています。RHETECH ST-870は、正と負のクロム、ZEP520A、 AZ5214E、およびS1813を含むフォトレジストタイプの範囲をサポートしています。また、基板の事前配置、露出ステージ数の制御、ウェットバスのサイクルタイムの制御などの機能も備えています。このアセットには、フルレンジの画像と自動画像調整が装備されており、ユーザーは正確な精度で高解像度のフォトレジストを生成することができます。SEMITOOL ST-870には、フォトレジストを硬質または柔軟な基板に精密に沈殿させるための電子制御ディスペンシングモデルが装備されています。基板上にフォトレジストを正確に積層することが可能なディスペンシング装置で、ユーザーは非常に精度の高い複雑なパターンを作成することができます。ST-870は、一貫したフォトレジスト結果を提供できる統合開発システムを提供しています。この開発ユニットは、開発サイクル中に最適な結果を得るために、調整可能な速度設定を備えた垂直スピンコートアプローチを使用しています。このマシンは、基板からフォトレジストを完全に除去するために最大6つの洗浄ステップを可能にします。SEMITOOL/RHETECH ST-870はまた、開発後のプロセスを最適化するために、脱イオン化水パージ、溶剤、乾燥剤、および乾燥窒素によるクリーニングを含むクリーニングステーションを備えています。クリーニングステーションは一貫した均一なashingプロセスを保障するように設計されています。全体として、RHETECH ST-870ツールは、高度な自動化機能を備えた汎用性の高いフォトレジストプラットフォームであり、ユーザーはフォトレジスト基板の製造において正確かつ正確な結果を得ることができます。この資産は、大量生産から小規模事業まで、幅広いユーザーに適しています。