中古 SEMITOOL / RHETECH P28SR11S-10001 #9357791 を販売中

SEMITOOL/RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Equipmentは、フォトレジスト層でウェーハを処理するために設計された高性能で自動化されたシステムです。高度な機能と堅牢なサーボロボット制御クリーニングモジュールにより、コンパウンドや薄膜など、最も困難なフォトレジスト組織を処理することができます。このユニットは、プロセスチャンバー、液体ハンドリングモジュール、PLC制御ユニット、排気ユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。プロセスチャンバーは、機械が正確かつ精密にウェーハ温度を管理および制御することを可能にするユニークな設計を持っています。また、チャンバー内に低圧パルスプラズマ源があり、フォトレジストの性能を高めるために使用されます。チャンバー内で作成されたプラズマは非常に一貫しており、フォトレジスト層のエッチングと厚化の両方に最適です。このチャンバーには、酸素センシングモジュールと酸化チタンミリメートルフィルターという2つの安全システムが装備されています。これにより、酸素の存在を検出し、緊急時にプロセスをシャットダウンすることができます。液体ハンドリングモジュールは、フォトレジストプロセスの化学物質の測定、分配、抽出に使用されます。このモジュールには、特定のサイズのコンテナを操作するための精密計量および線形ステージがあります。精密計量は、ロボットによる精度を使用して液体を抽出し、分配します。PLC （Programmable Logic Controller）は、プロセス全体を制御するために使用されます。これにより、フォトレジストプロセスのすべてのステージを正確かつ信頼性の高い制御が可能になります。エキゾーストユニットは、フォトレジストプロセス中に生成されたガス製品を捕捉、封じ込め、排気するように設計されています。労働者の安全を確保し、危険な発煙の影響を軽減するために、さまざまな安全機能を備えています。これらの機能には、安全弁、難燃剤、および危険なガスの放出を捕捉および管理するための二次ガスシールドが内蔵されています。また、静電気の蓄積リスクを低減するためのオプションのイオン化フィルターも含まれています。高度な機能と機能を備えたRHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Toolは、精度と一貫性を備えた高性能フォトレジストを製造するための理想的なツールです。このアセットは、一貫した製品品質で正確な結果を保証し、半導体、オプトエレクトロニクスなど、さまざまな業界にとって理想的なツールとなります。