中古 SEMITOOL / RHETECH EQ242S/PR #293628380 を販売中

RHETECH EQ242S/PRは、一貫した信頼性の高いリソグラフィ結果を可能にするように設計された最先端のフォトレジスト加工装置です。高度なEビームリソグラフィーツールと強力なUVレーザーを搭載し、リソグラフィーアプリケーション向けの包括的なソリューションです。この設計は、フォトレジストの迅速かつ再現可能な処理に最適化されており、優れたプロセス結果を保証します。幅広いフォトレジスト処理が可能で、サイクルタイムを短縮するための迅速なウェーハアライメントが可能です。システムは2つの主要なコンポーネントで構成されています。単一のカセットサイズのEビームリソグラフィーツールとUVレーザーアブレーションユニットを含む真空プロセスチャンバー。また、プラネタリーウェーハアライメントツールを備えており、正確かつ再現性のあるウェーハアライメントを可能にします。この設計は、Eビームリソグラフィーツールの最適な性能のために最適化されており、処理時間を短縮し、一貫したプロセス結果を保証します。アセットには、統合されたプロセスコントローラとデータ収集モデルが含まれます。これにより、プロセスとプロセスパラメータを正確に制御し、詳細なロギングプロセス結果を提供できます。また、ウェーハの積み降ろし、空気洗浄、プライミングのためのウェーハハンドリングシステムも備えています。設計はクリーンルーム対応で、密閉されたプロセスチャンバーにより外部からの汚染を防ぎます。SEMITOOL EQ242S/PRは多くの産業および研究の適用のための理想的なフォトレジストの処理単位です。高度なプロセス制御およびデータ収集システムにより、正確かつ再現性の高いプロセス結果が保証され、モジュール設計により既存のプロセス・フローに容易に統合できます。その機能により、幅広いフォトレジストに対応でき、多様なフォトレジスト処理ニーズに対応する汎用性と信頼性の高いソリューションとなります。