中古 SEMITOOL RFS 500/700 #9216879 を販売中

SEMITOOL RFS 500/700 （Resist Film Stripper）は、フォトレジストマスク、スパッタリングされたフォトレジストレイヤー、フォトレジストストライプなどのフォトレジストの剥離、清潔、乾燥に使用されるフォトレジスト機器です。それは優れた均一性で、ウェーハ、またはソーラーパネル、または真空環境内でフォトレジストを剥離し、きれいにするように設計されています。RFS 500/700は、最適な結果を得るために必要な圧力、温度、流量を生成するように設計された単一のプロセスモジュールです。PDコントローラとトライガスマニホールドで構成され、プロセスチャンバのパージ、バックフィリング、フラッシングなどの必要なユーティリティを制御します。このユニットはマイクロスプレーヤーを使用して、フォトレジスト洗浄剤に窒素と水を混ぜてスプレーするだけでなく、フォトレジストから残留物を除去し、基板への影響を最小限に抑えます。さらに、調整可能な5ポイントコンベアにより、洗浄液の均一な分布が可能になり、均一でないフィルム除去が行われないようになります。フォトレジストを剥がして洗浄すると、高効率真空を使用して乾燥します。これは、ターボ真空ポンプの助けを借りて行われます、これは、溶媒と加湿空気分子を蒸発高速気流を作成し、フォトレジストの迅速かつ安全な除去を可能にします。SEMITOOL RFS 500/700は、さまざまなフォトレジスト除去剤および基板、ならびに幅広い温度、圧力、流量基準を使用して、一貫した反復可能な結果を提供するように設計されています。それは統合された電源および換気システムと組み立てられ、エンジニアが除去およびクリーニングプロセスを監視することを可能にする専用の保証されたソフトウェアによってプロセス部屋へのアクセスを提供します。全体として、SEMITOOL RFS 500/700は有効で信頼性の高いフォトレジストユニットであり、高真空環境内でさまざまなフォトレジストや基板を除去することができ、優れた均一性を実現します。これは、フォトレジストおよび同様のプロセスの安全で一貫した除去と洗浄を必要とするあらゆる操作に理想的なマシンです。