中古 SEMITOOL Raider #9207096 を販売中
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SEMITOOL Raiderは、集積回路(IC)およびその他のミクロンスケール部品の生産を容易にするために設計された自動フォトレジストシステムです。Raider Processing ModuleとSEMITOOL Raider Coating Moduleの2つのサブシステムに基づいたモジュラーシステムです。Raider Processing Moduleには、ウェーハハンドリング用のコンベアベルトと静電チャッカーを備えたウェーハトラックと、精密基板キャリアとSMIF転送インターフェースを備えたさまざまなプロセスモジュールが含まれています。これらのプロセスモジュールには、特定のアプリケーションに応じて、エッチング、成膜、検査、クリーニング、リソグラフィー、およびアニールツールの複数のタイプを装備することができます。SEMITOOL Raider Coating Moduleには、複数のコーティングヘッドと幅広いフォトレジスト材料に対応できる液体ノズルが含まれています。強度制御機能を備えたPhoseon Fusion UV光源を搭載しており、ポジティブトーンとネガティブトーンフォトレジストの両方に最適なUV露光を提供できます。その他の機能には、エアナイフとフォトレジストの開発と除去のためのロールコーターがあります。このシステムは拡張性が高く、大量生産をサポートするさまざまなレシピオートメーション機能を備えています。レイダーは、高品質の材料から構築され、正確さと堅牢性のために設計されています。ユーザーを念頭に置いて設計されており、シンプルなインターフェイスと直感的な操作を提供し、合理化されたフォトレジスト製造プロセスを実現します。また、ユーザーが迅速な問題解決のためにトラブルシューティングを行うことができるオープンなプラットフォームで、維持しやすいように設計されています。最後に、複数のウェーハを同時に実行して効率を向上させることができる、印象的なターンアラウンドタイムを誇っています。SEMITOOL Raiderは、ミクロンスケールでのICおよびその他のコンポーネントの生産において非常に貴重な資産です。コンフィギュレーション可能なプロセスモジュールや業界をリードするUVソースを備えた汎用性の高いコーティングモジュールなど、フォトレジスト加工に必要なすべてのコンポーネントを備えています。さらに、ユーザーフレンドリーで信頼性が高く、メンテナンスを最小限に抑えて大量生産をサポートするように設計されています。要するに、Raiderは経験豊富なフォトレジストプロセッサと新人フォトレジストプロセッサの両方に最適なツールです。
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