中古 SEMITOOL Raider #9029095 を販売中

SEMITOOL Raiderは、半導体業界でウェーハの加工に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体ウェーハからのコーティング、剥離、およびアッシングフォトレジストに使用されます。このユニットは、一貫した反復可能な処理時間、ウェーハ全体の均一性、および歩留まりの向上を提供するように設計されています。レイダーは、さまざまなアプリケーションのニーズに対応するさまざまな機能を提供しています。機械は手動または完全に自動化された操作のために構成することができ特定の適用に合うように合わせることができます。また、ダブルシールドドア、内蔵の緊急停止ボタン、PLCベースの安全ツール、オペレータを保護するためのスプラッシュガード、および静電気に準拠したエンクロージャなど、さまざまな安全機能を提供します。このアセットには、プリクリーニングチャンバー、露出チャンバー、搬送チャンバー、ポストエクスポージャーチャンバーなど、複数の処理チャンバーが含まれています。モデルのプレクリーニングチャンバーを使用して基板を洗浄し、露出チャンバーを使用して基板を製品固有の紫外線にさらします。搬送チャンバは、ウェーハがあるチャンバーから別のチャンバーに移動する場所です。最後に、露出後のチャンバーは、露出後に残留フォトレジストを除去するために使用されます。ロボットアームを内蔵し、ウェハハンドリングの簡素化とウェハスループットの向上を実現しています。アームは、開始チャンバから終了チャンバに自動的にウェーハを移動させるだけでなく、処理前後にウェーハを回転させるようにプログラムすることができます。ロボットアームは、最大10cm/sの速度で一度に最大3つのウェーハを移動するようにプログラムすることができます。SEMITOOL Raiderは、標準的な水溶液や非水溶液など、さまざまなフォトレジスト材料を取り扱うように設計されています。このシステムは、複数の材料を同時に処理するように構成することもでき、効率を高めることができます。さらに、ユニットは異なるタイプのウェーハを異なるタイミングで処理するようにプログラムすることができます。このマシンはまた、高度な制御ツールを使用して設計されており、ユーザーは処理パラメータを監視および調整するだけでなく、キャリブレーションカーブとタイミングパラメータを設定することができます。これにより、アセットは最高レベルのパフォーマンスを実現します。このモデルは、オペレータの安全を確保するために、複数の安全機能を備えて設計されています。これには、問題が発生したときに素材の配送を迅速に停止できる安全シャットオフバルブと、オペレーターが部屋を出る必要がある場合にすぐに機器を停止するために使用できる緊急停止スイッチが含まれます。全体として、Raiderは半導体業界のニーズを満たすように設計された信頼性が高く効率的なシステムです。このユニットは、迅速かつ正確な処理時間、改善された歩留まり、およびユーザーフレンドリーな操作を提供します。フォトレジスト処理能力を向上させたい企業に最適なオプションです。