中古 SEMITOOL Raider #9018339 を販売中
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ID: 9018339
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2004
Wafer backside etcher, 6"
Configuration:
Process: backside and bevel etch/clean
Substrate: 6" Si with flats
Voltage: 380 V, 3 phase, 50/60 Hz, 5 wire
CE comp: yes
S2 comp: yes
Automation:
Type: 2 open cassette
Robot: STI single linear
End effector: edge grip
Pre-aligner: no
Cabinet:
Style: 2 chamber with WIP version 2
Material: PVC-C
Exhaust: bottom
Facilities: bottom
Fire supp: eng req (no external comp)
ULPA filters: standard (to cover both wafer handling area and chambers)
Process module:
CPC1/CPC2 backside layer etch
Chamber: 8" capsule
Rotor: 6" capsule I
DRVHD: capsule I
Auto: Raider L/R
MFC on N2 and IPA (top/bottom)
IPA vapor dry
Delivery systems:
Tank 1
Size: 20 L
Style: bottom draw
H/C: coils
Circ: recirc/reclaim
Filter: 5" 0.1 um
Level sensor: 3 floats
Pump: Levitronix BP-3 48 V
Supply: bulk fill
Delivery: CPC 1 & 2
Chem: dHF
Chemical trunk line delivered to bottom of CPC1/CPC2
SMTL transducer for all liquids
Drains: IPA, IW, HF
Options: (2) Affinity heater/chillers
Engineering required:
Cabinet
Elec pods
Automation
Process component integration
Electrical
Software
Plumbing layout
Gas flow monitoring and data logging
Robot interface
Manuals
Chiller/heater, 50 Hz, European
Chiller M75, 50 Hz, PD-2
2004 vintage.
SEMITOOL Raiderフォトレジスト装置は、半導体デバイス上の機能をパターン化するために使用される、自動化された高スループットのフォトリソグラフィーツールです。このシステムには、あるプロセス・ステーションから別のプロセス・ステーションへの半導体ウェーハを正確に選択して配置する精密ロボットが装備されています。レーダーはレーザー干渉計を備えており、正確なウェーハ位置決め、正確な温度制御と環境清浄性のためのロードロックユニット、および精密なコンフォーマル処理のための0。5ミクロンのコーター/デベロッパーを備えています。SEMITOOL Raiderのフォトレジストコーティングステーションは、薄いレジスト層をウェーハに塗布してフォトリソグラフィの準備をするように設計されています。このマシンは、精度と解像度を0。1ミクロン以下で、毎分6ウェーハまでのレジストコーティング速度を提供します。コーティングされたウェーハはフォトマスクのステーションに移動され、赤外線レーザーまたは近紫外線レーザーがフォトマスクの所望のパターンを照らします。これは、同じフォトマスクを使用して非常に小さなパターンや完全な回路設計の照明を可能にします。Raiderのスキャナステーションでは、ウェーハごとに特定のスキャンパターンをプログラミングできます。これにより、個々の機能または完全な回路設計がウェーハに正確にパターン化されます。レジストパターンは、SEMITOOL Raiderのフォトレジスト開発ステーションを使用してウェーハに転送されます。このステーションには、高度な温度と湿度制御が装備されており、一貫性のあるプロセスを保証します。レイダーは、再現可能な結果を維持しながらフォトリソグラフィープロセスの生産性を向上させるように設計されています。厳格なプロセス制御と再現性により、ユーザーは信頼性が高く、一貫性があり、費用対効果の高い結果を期待できます。このツールは、さまざまな化学物質や材料と容易に統合され、プロセス化学物質との互換性も高くなっています。これらのすべての機能により、SEMITOOL Raiderは、半導体デバイスを処理するための信頼性の高いフォトリソグラフィ資産を探しているユーザーにとって理想的な選択肢となります。
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