中古 SEMITOOL Raider ECD #9300422 を販売中

SEMITOOL Raider ECDは、半導体産業における大規模な生産および開発アプリケーション向けに設計されたフォトレジスト機器です。ウエハハンドリング、フォトレジストコーティング、ベーキング、アライメント、ステッピングフォトグラフィックイメージング、開発、洗浄のための完全統合処理システムです。このユニットは、操作とプログラミングを容易にするためのWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。タッチスクリーンディスプレイは、ユーザーアクセスのための多くのオプションを提供し、直感的なメニューは、フォトレジストタスクを介してオペレータをガイドします。オートローダーにより、ウェーハを素早く簡単にマシンにロードできます。さらに、プロセスステップはソフトウェアで事前に定義することができ、ユーザーは複数の露出の途切れないサイクルを実行することができます。Raider ECDは、高精度な拡散停止を備えたオンボードレジストコートコーターを備えているため、レジストから開発者に変更しても正確なコーティング厚さを達成できます。ヒートホイール付きのレジストトラックを新設計し、ベークサイクルごとに優れた均一性と再現性を提供します。また、ウェーハアライメント用の真空チャック、露出用ビームテーブル、オートフォーカスヘッド、回転、リニア、および複数の露出用のオートドライブも備えています。SEMITOOL Raider ECDには、アップタイムと双方向の操作を改善するための新しい独自開発者スプレーヘッドも含まれています。これは、メンテナンスのための部品に簡単にアクセスし、きれいにするためのオープンフレーム設計を備えています。このアセットは、1時間あたり最大300ウェーハのスループット速度が可能で、最大300mmの最大ウェーハサイズを備えています。これは、バッチと単一のフォトレジストプロセスの両方に対応します。Raider ECDは、フォトレジスト製造プロセスにおける精度とオートメーションの両方を提供するように設計されています。これは、迅速なセットアップとプログラミングを保証するために直感的なオペレータを備えており、再現性の高い正確な結果を提供し、一貫性のある信頼性の高いウェーハを生成します。このモデルは工場全体のオートメーションネットワークに接続されており、ユーザーは中央の場所からプロセスを監視および制御することができます。この機器は、フォトレジストシステム市場のリーダーの1つであり、大規模な生産と開発に最適です。