中古 SEMITOOL Raider ECD #9275234 を販売中

SEMITOOL Raider ECDは、バックエンドアプリケーション用の低kおよび乾燥酸化膜スタックを作成するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、低k材料の最適な製造のための紫外線露光と分解技術の両方を組み合わせた電子サイクロトロン蒸着（ECD）チャンバーです。このユニットは、RFシールドで区切られた2つのゾーンコンパートメントを使用して、基板上の酸化物の堆積を可能にし、次に酸化物構造に対するフォトレジストの分解を可能にします。Raider ECDは、手頃な価格でコンパクトなため、OEMアプリケーションや小型ウェーハファブに理想的なマシンであり、長寿命のための共軸デュアルシャッターツールを統合しています。SEMITOOL Raider ECDは、さまざまな誘電アプリケーションに有利なユニークなデザインと機能を備えています。特殊な有機化学および無機化学を利用し、残留した酸化物を除去して基板表面を準備するPreclean Assetが付属しています。デュアルシャッターモデルを使用して、材料を粒子や汚染物質から保護しながら、レガシープロセスと標準レシピの受け入れの下位互換性を可能にします。Raider ECDは、独自のプロセスチャンバーにより高い柔軟性を提供します。蒸着チャンバは酸化物材料を精密に堆積させるように設計されており、分解チャンバにはファインラインとフィーチャープリントのための高度なフォトレジスト技術が装備されています。このフォトレジストプロセスは、最大6種類のフィーチャーサイズと40nmの最小フィーチャーサイズを生成することができます。さらに、SEMITOOL Raider ECDには、誘電体の正確な層の厚さ制御を可能にする精密レートとバイアス制御機能が装備されています。レイダーECDは、高い処理速度、低コスト、および高精度のためにフォトレジスト市場で際立っている特徴的な製品です。これは、学術的および商業的なアプリケーションの両方で優れたパフォーマンスを提供することが証明されています。その独特な設計および特徴はそれをあらゆるフォトレジストの製作のための信頼できる装置にします。SEMITOOL Raider ECDは、経済的で信頼性が高く、正確なフォトレジスト処理を求める人に理想的なフォトレジストシステムです。