中古 SEMITOOL Raider ECD 312 #9143778 を販売中
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ID: 9143778
ウェーハサイズ: 12"
Etcher, 12"
Configuration:
Ni
(3) SRD
(3) Lead free
(4) Cu
Missing parts:
CP1: Pressure sensor 310C0143-70, Pressure sensor 310C0142-70, 310T0045-01
CP2: Level sensor
CP3: Pump 70959-31P, anode set
CP5: Pump 70959-31P
CP6: Pump 70959-31P
CP8: Lift assy
CP9: Anode bowl, anode set, Pump 70959-31P
CP10: Pressure sensor 310C0143-70, valve 310T0045-01
CP12: Lift assy
Tank 3: Valve
Tank 4: Valve
(2) Drain connectors
(2) Pump connectors 206044-1 / 206039-1.
SEMITOOL Raider ECD 312は、洗練された多機能フォトレジスト加工装置です。このシステムは、制御された環境でフォトレジストをさまざまな基板に混合、分散、輸送します。感光媒体を基板に整列させる高度な精度を提供し、レジストリソグラフィープロセス中に最適な解像度と均一性を実現します。SEMITOOL RAIDER ECD-312は3つの基本的な段階で動作します。まず、フォトレジスト材料は、基板にフォトレジストを貯蔵し供給する貯水池に電子的に分配されるユニットに受信されます。第二に、この媒体は正確に整列し、均一で均一な層の基板上に配置されます。これは、調整可能なコンベア、ウェーハレベリングマシン、およびその他の自動制御によって達成されます。最後に、フォトレジストは、同時に超高強度光と多軸スキャナを介して得られる非常に精密なパターンにさらされます。このプロセスにより、部品の最小の特徴をレジストフィルムに正確に刻印することができます。Raider ECD 312は、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を備えており、リソグラフィープロセスを完全に制御できます。このツールは、ガラス、石英、石英シリコン基板、薄型半導体ウェーハなど、さまざまな基板に適応するために校正することができます。LCDモニターは、レジストリソグラフィ中にリアルタイム情報を表示し、フォトレジストパターンと結果を包括的に表示します。これにより、オペレータはプロセス中の問題を簡単に特定し、必要に応じて必要な調整を行うことができます。RAIDER ECD-312で利用可能なEagle Pointソフトウェアスイートは、プロセスの最適化を簡単にします。このパッケージには、レジストコーティングの均質性を制御および監視するためのソフトウェア、カスタマイズされたフォトレジストパターンの作成、手動ローディングとディスペンスキャリブレーション、および基板検査が含まれます。SEMITOOL Raider ECD 312は、このような技術的に高度な資産から予想されるように、いくつかの標準的なコンピュータ言語と完全に互換性があり、既存の自動製造プロセスに簡単に統合することができます。結論として、SEMITOOL RAIDER ECD-312は本当に驚くべきフォトレジスト処理モデルです。これまでにないフォトレジストパターニングの精度と制御と、レジストリソグラフィの最適化を簡素化するユーザーフレンドリーな機能を提供します。この装置は、彼らのプロジェクトのための最高品質のコンポーネントを生産しようとしている技術者、エンジニア、または科学者にとって非常に貴重な資産です。
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