中古 SEMITOOL Raider ECD 312 #293807054 を販売中
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SEMITOOL Raider ECD 312は、さまざまな用途に対応する高精度フォトリソグラフィープロセスを可能にするように設計された先進的なフォトレジストシステムです。フォトリソグラフィーは、半導体加工の重要な部分であり、光と光感受性化学物質を使用して、マスクから基板の表面にパターンを転送することを含みます。SEMITOOL RAIDER ECD-312は、このプロセスのための非常に効率的で自動化されたプラットフォームを提供します。レイダーECD 312は、シリコン、サファイア、ガラス、石英などのさまざまな材料を取り扱うように設計されています。2インチから8インチのウェーハまで、さまざまなウェーハサイズに対応しています。また、超紫外線露出、深紫外線露出、熱処理など、より敏感なプロセス工程にも対応できます。RAIDER ECD-312は高度な制御とハンドリング機能を備えており、正確で反復可能なパターンを生成できます。最大8ミクロンの解像度で画像処理が可能で、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介して制御できます。プロセスモニタリングとキャリブレーションに使用される統合マイクロプロセッサを備えています。マルチゾーン加熱板を搭載し、各ゾーンの温度制御を精密に行うとともに、不規則なウエハ形状においても高精度なフォーカスを維持するマルチフォーカシング技術を採用しています。SEMITOOL Raider ECD 312には、フォトリソグラフィープロセスの各ステップでウェーハを移動するためのコンベアシステムも含まれています。これには、プロセスのさまざまな段階でウェーハを監視するために使用される複数のカメラシステムが含まれています。ウェーハからフォトレジストを洗浄するための自動洗浄ノズルも付属しています。SEMITOOL RAIDER ECD-312は、利用可能な最も先進的で信頼性の高いフォトリソグラフィーシステムの1つであり、太陽光発電デバイス、フラットパネルディスプレイ、その他の高解像度アプリケーションの複雑なパターンを生成するのに理想的です。効率的で自動化されたハンドリングと正確なイメージング機能を組み合わせることで、多種多様な半導体製造プロセスに最適です。
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