中古 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384187 を販売中

SEMITOOL Raider ECD 310は、正確なフォトリソグラフィーエッチング処理用に設計された自動レジストストリッピングおよびクリーニング装置です。半導体業界のエッチング加工に必要なフォトレジストなどの基板を剥離・清掃するシステムです。SEMITOOL RAIDER ECD-310は直感的なユーザーインターフェイスで設計されており、使いやすく簡単にプログラムできます。このユニットは、調整可能なメガソニックモードを使用しており、ユーザーにエッチプロセスの清潔さのための幅広い最適化オプションを提供します。このマシンはデュアルタンクツールを備えており、クリーニングアプリケーションの柔軟性と効率性を提供します。両方のタンクは、液体のこぼれを制限するように設計されている囲まれた空洞で構築されています。また、プロセスの均一性と完全性を大幅に向上させることができるユニークなマルチステップオプションもあります。ECD 310は効率的な加熱アセットを使用し、プロセス動作中に均一な加熱プロファイルを提供します。リフトオフ、スプレー、スクラブ洗浄アプリケーションが装備されています。リフトオフモードは、加熱されたDI水を使用して、基板からフォトレジストの小さな粒子を持ち上げるために均一な水面を実現します。スプレーオフモードは、高圧を使用してウェーハからの穏やかな液体除去を実現します。スクラブオフモードは、最適な洗浄のために超音波キャビテーションエネルギーを利用します。このモデルは高度に自動化されており、あるステーションから別のステーションへの基板の正確な転送のための高度なロボティクスを備えています。フォトマスク、ウェーハ、200mm/300mm、スルーシリコンビアス（TSV）など様々な基板に対応可能です。また、プロセスレシピをクリーニングするためにプログラムすることができ、プログラムレシピを保存して呼び出すことができる「バッチモード」を備えています。ECD 310はSEMI S2およびEHS規格に準拠しているため、生産での使用にも安全です。モダンなカラーのタッチスクリーンを備えており、操作が簡単で、リアルタイムのプロセス監視、プロセス履歴、レポート機能など、さまざまな機能を提供します。さらに、機器はポータブルであり、どこでも移動してセットアップすることができます。全体として、Raider ECD 310は高度でユーザーフレンドリーな自動フォトレジストシステムで、エッチングプロセスをユーザーに支援します。さまざまな機能を備え、業界標準に準拠しているため、エッチング用途に最適です。