中古 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384185 を販売中

SEMITOOL Raider ECD 310は、高度な半導体デバイスの製造と製造のための大型基板の高精度処理のために特別に設計されたフォトレジストストリップ装置です。独自のデュアルイオンビーム源を搭載しており、電子とイオンビームの両方を供給できる単一モジュールを使用しています。SEMITOOL RAIDER ECD-310は、パターン定義を最適化するための特許取得済みの二重フィルム露出（DFE）システムを備えています。DFE技術は「、柔らかい」電子ビームと「硬い」イオンビームの両方を利用して、フォトレジストの単層を露出させます。この組み合わせにより、パターン定義が改善され、パターン転送に必要な操作数が削減されます。ECD 310は、直径200mmまでの基板をカバーする視野（FOV）を持ち、最大12インチのレチクルに対して± 6ミクロンの精度でカバーします。このユニットは、ウェーハスクラブまたは赤外線アッシングのいずれかに使用するように設定できます。このマシンは、動作パラメータの変更にユーザーを指示する統合されたアラーム監視ツールを備えています。Raider ECD 310は、効率的で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなフォトレジスト処理資産であり、最新の半導体製造におけるさまざまな複雑さとパフォーマンス要件をサポートします。効率的かつ正確な処理のための包括的な制御インターフェースを備えており、フルスケールとセミスケールの両方の生産作業を柔軟に管理できます。また、トリプルチャンバー安全エンクローズ、内蔵シールド、独立した排気など、いくつかの安全機能が付属しています。さらに、RAIDER ECD-310は、プロセス内OBIRの外部制御、監視、およびロギングを提供する自動機能により、重要なプロセスパラメータの高精度を保証します。全体的に、このフォトレジストストリップモデルは、基板の効率的で信頼性の高い高精度処理をサポートするように設計されています。