中古 SEMITOOL Raider ECD 310 #9357913 を販売中
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販売された
ID: 9357913
ウェーハサイズ: 12"
Electroplating system, 12"
Ulpa filtration, P/N: 70006-401
(3) Exhausts
Drip pan
LT Process robot, P/N: 610T0300-01
Station control
User Interface:
Rear, P/N: 650T0030-03
Front, P/N: 650T0030-501
Operating system: Embedded XP system
(2) USB Ports
Metrology unit, P/N: 90005-81
Buffer station, P/N: 640T0377-01
Transfer robot, P/N: 610T0300-01
FOUP / Cassette:
ENTEGRIS F300 Auto pod, P/N: 01-018675
Wafer diameter: 300 ± 0.25 mm
Wafer pitch: Half Pitch
Wafer mapping capability:
E84 Parallel I/O sensors, P/N: 4012-25
E99 Carrier ID reader
(3) HERMOS RF Tag readers
(3) FOUP Load ports, P/N: 640T0147-505
Chemical connections:
Line-1: Catholyte A 180L
Line-2: Anolyte A 65L
Line-5: H2SO4
Line-6: H2O2
Line-7: CDA
Line-8: DI
Line-9: N2
Line-10: House vacuum
Line-11: CO2 Fire suppression
Photospec probe, P/N: 90005-01
pH Probe, P/N: 61326-16
Sampling port, P/N: 429T1635-503
RTA Probe, P/N: 90005-50
Real time analyzer: Gold box
Drain
Chamber 1 and 2:
Rinse dry with bevel etch capability
Lift automation assembly, P/N: 200T0085-03
Mixing tank, P/N: 330T0188-01
Delivery tank, P/N: 330T0190-15
Bowl, P/N: 100T0143-09
Temperature control: Heating / Cooling coils
N2 Dryer
Chamber 3, 4, 5, 6 and 7:
Electroplating chamber with membrane
Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01
Catholyte tank, P/N: 330T0186-515
Anolyte tank, P/N: 330T0243-501
Temperature control: Heating / Cooling coils
Anodes, P/N: 14400-90
Membrane, P/N: 111T1388-03
Filter, P/N: 7004-63
Pump, P/N: 70959-31
De-bubbler, P/N: 119T1289-03
Ring rinse nozzle, P/N: 341T0043-01
Wafer rinse nozzle, P/N: 341T0043-01
Power supply, P/N: 900C0329-01
Chamber 8:
Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01
Catholyte tank, P/N: 330T0186-515
Anolyte tank, P/N: 330T0243-501
Temperature control: Heating / Cooling coils
Anodes, P/N: 14400-90
Membrane, P/N: 111T1388-03
Filter, P/N: 7004-63
Pump, P/N: 70959-31
De-bubbler, P/N: 119T1289-03
De-bubbler, P/N: 119T1289-0
Does no include Hard Disk Drive (HDD).
SEMITOOL Raider ECD 310は、太陽電池やその他の半導体デバイスの製造用に設計されたフォトレジスト機器です。これは、フォトレジストを堆積するプロセスを簡素化するように設計されたレジストシステムのSEMITOOL Raiderファミリに最新の追加です。SEMITOOL RAIDER ECD-310は、ステンシルマスクのステンシル加工のための信頼性の高い高性能プラットフォームを提供し、ステンシルマスクの製造プロセスを簡素化するさまざまな機能を備えています。このシステムは、最先端のロボットスプレーベッド機能を備えており、流体を高度に制御して再現可能な方法で堆積させることができ、1回の走行で最大6平方フィートをカバーします。Raider ECD 310の精度2軸スプレーロボットは、より正確なステンシル配置を可能にし、無駄を最小限に抑え、正確なマスク登録を可能にします。また、カスタムの高解像度カメラを搭載し、正確なマスクの可視化とプロセスステップの容易な可視化を可能にします。これは、すべてのプロセスステップが約15 μの精度で実行されるようにするのに役立ちます。このマシンは、最適なレジストパターニングに必要な電力を提供する高出力UVレーザーを使用しています。RAIDER ECD-310はまた、フォトレジストの沈着に必要な低温を維持するだけでなく、水分や空気汚染物質を引き出すために高真空ツールを使用しています。このアセットには、ソフトウェアパッケージを使用して、スプレーロボットパラメータのセットアップ、再現性、およびメンテナンスを容易にします。このソフトウェアは、スプレーロボットの校正を簡素化し、時間を節約し、エラーの可能性を低減します。SEMITOOL Raider ECD 310は、フォトレジストの噴霧に加えて、化学的ウェットエッチングも可能で、最も複雑な太陽光発電デバイスの製造も可能です。SEMITOOL RAIDER ECD-310は、優れた精度、再現性、精度を提供する直感的で使いやすいモデルです。その特徴の範囲はそれを太陽電池および装置の生産のための理想的な解決にします。
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