中古 SEMITOOL Raider ECD 310 #9274916 を販売中

ID: 9274916
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Electroplating system, 12" 2009 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 310は、マイクロエレクトロニクス製造における高品質フォトレジスト回路パターンの安定化のために開発された先進的なフォトレジスト機器です。標準的なリソグラフィ法の能力を超えるパフォーマンスを向上させます。この装置は高度なダイレクトライトテクノロジーを使用しており、最高の画質と精度を維持しながら、レジストパターンの高価な接触印刷を回避します。従来の光学部品に代わってレーザダイオードを利用したモノクロレーザーアライメントユニットを搭載し、優れた精度を実現しています。この技術はまた、ミスアラインメントを排除し、生産中のショットツーショットのプロセス変動を補償し、一貫したエッチング深さと信頼性の高いエッチング速度を保証します。SEMITOOL RAIDER ECD-310は、フォトレジスト加工の魅力的な選択肢となるさまざまな機能に裏付けられています。それに高い発電の機能があり、36Vまでの有効なproces rcorの潜在性を提供します。機械にまた熱および積極的な化学薬品からの付着の版の損傷の可能性を減らす高度の保護コーティングの層があります。コンパクト設計により、効率的な製造スペースを実現し、最高のスループットと信頼性を提供します。Raider ECD 310は、パーティクルフリープロセスと冷却プロセスを保証する温度制御機能も提供します。このツールには、パターン化されたデバイスの上のフォトレジスト層に複合するために巨大な波を利用する高性能メガソニッククリーニングユニットが装備されています。この洗浄プロセスは、一貫した結果と優れた精度を提供します。さらに、低温ベーク炉、急速溶剤乾燥機、カプセル化された開発者も備えています。これらの部品は協力して、追加の熱損傷を引き起こすことなく正確なプロセス結果を提供します。RAIDER ECD-310は、2µmのような小さいサイズの複雑な回路パターンを作成することができ、最も要求の厳しいアプリケーションに優れた解像度を提供します。高度な技術機能により、今日のマイクロエレクトロニクス製造環境にとって効果的で信頼性の高いツールであり、複雑なフォトレジスト回路パターンを効率的に作成できます。
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