中古 SEMITOOL Raider ECD 310 #9236557 を販売中

SEMITOOL Raider ECD 310は、高いスループット精度のリソグラフィ処理用に設計されたフォトレジスト処理装置です。最大8インチまでのウェーハ加工が可能で、最小10ミクロンの機能を備えています。このシステムは、フォトレジスト用途に新しい電気化学蒸着（ECD）プロセスを利用しています。このプロセスは、一貫したフィルムプロファイル、解像度、プロセス再現性に対する半導体業界の厳しい要求に応えるために開発されました。ECD 310は、独自のレジスト技術と精密な電気化学配送システムを組み合わせて実現しています。ウエハステージを全自動にし、基板の積み降ろしを高速化します。これは、効率的なリソグラフィ処理のための自動レジストディスペンシング、ウェーハ露出、洗浄機能と組み合わされています。レジストプロファイルは、ウェーハ全体の均一性を確保し、プロセスの変動を最小限に抑えるために、精密シムとスプレーヘッドを使用して最適化されています。機械は危険な材料の封じ込めを保障する抵抗のフードおよび発煙の抽出の機能を含んでいます。自動化された材料管理機能により、各アプリケーションで適切なレジスト量が使用され、正しいタイプが選択されます。また、統合されたRI検出器により、リアルタイムのフィードバックと品質管理を継続的に監視できます。このツールは、リモートアクセスと監視のためにネットワークを有効にしています。これにより、プロセスパラメータを遠隔監視し、外部からタンクレベルを制御することができます。また、現場でのウエハ検査のための高解像度ビジョンモデル機能も備えており、加工前後の欠陥解析が可能です。SEMITOOL RAIDER ECD-310は、厳しい業界基準を満たすように設計された高スループット、精密リソグラフィ加工装置です。自動化された制御、高精度な配信技術、ビジョンシステム機能を組み合わせて、さまざまな基板上の高度なリソグラフィ処理のための一貫した、正確で反復可能なレジストアプリケーションを保証します。