中古 SEMITOOL Raider ECD 310 #293663019 を販売中
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SEMITOOL Raider ECD 310は、正確で自動化されたバッチ処理用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、-48°Cから288°Cまでの温度と15 cmの範囲までの近接制御を備えた、液体および乾式レジスト製品の両方を実行することができます。SEMITOOL RAIDER ECD-310はまた、可変強度の光源を備えており、幅広い抵抗露光最適化を可能にします。このユニットは、非常に高速で信頼性の高いデータ収集機と組み合わせたポンプ、バルブ、センサーの密なネットワークで構成されています。これにより、すべてのパラメータ、調整、操作を正確に制御でき、各バッチのレジストが同じ処理パラメータに従うことができます。Raider ECD 310には統合されたインデクサーが付属しており、異なるレジストレシピ間の迅速なセットアップと切り替えが可能です。また、独立してまたは他のSEMITOOL自動装置と連携して動作することができ、フォトレジストの処理に統合されたソリューションを提供します。このツールには、潜在的な危険からユーザーと製品を保護するための多くの安全機能が組み込まれています。これらには、漏れ検出アセット、液体抵抗漏れの任意のレベルを検出するためのもの、および異物の存在を監視するように設計された粒子検出器が含まれます。このモデルには高度な熱保護技術も装備されており、プロセス温度が設定された限界を超えないようにしています。全体として、RAIDER ECD-310は、包括的で自動化されたバッチ処理用に設計された高度なフォトレジスト機器です。これは、さまざまな機能と安全システムだけでなく、さまざまなレシピ間の効率的な切り替えのための統合インデックスを提供します。このシステムは完全に自動化されているため、精度と高いスループットを必要とするラボや生産ラインに最適です。
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