中古 SEMITOOL Raider ECD 310 #293652806 を販売中

SEMITOOL Raider ECD 310
ID: 293652806
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Electroplating system, 12" 2009 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 310は、非常に細かい構造に最適なイメージングプロセスを提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。それはSEMITOOLの証明された自動反応イオンエッチング(ARIE)の技術に基づいて、優秀なイメージの対照、好まれたイメージ投射のプロフィールおよび高い均等性を提供します。SEMITOOL RAIDER ECD-310には次世代のドライエッチイオンビームソースが搭載されており、わずか数ナノメートルの高解像度イメージングとファインエッチングが可能です。また、フォトレジストの効率的な除去にはリアクティブイオンエッチング(RIE)を使用し、特殊な光放電クリーニングユニットにより優れた欠陥制御を実現しています。最適なパフォーマンスを提供するだけでなく、Raider ECD 310も所有コストを削減するように設計されています。それは別のエッチングおよびきれいなステップのための必要性を除去する単一操作機械です。また、ユニバーサル基板搬送ロボットを採用しており、効率的なマスク交換と高速処理が可能です。RAIDER ECD-310には、効率的な操作のための堅牢なWindowsベースのプラットフォームが含まれています。ツール操作は、さまざまな標準機能とオプション機能を使用して、個々の好みに合わせて調整できます。これには、アセットパフォーマンスを追跡し、イメージングの欠陥を防ぐためのプロセスモニタ、高いリソグラフィ分解能を確保するための特別なプラズマベースの機能が含まれます。SEMITOOL Raider ECD 310は、非常に微細なデバイス構造の高度なイメージングとエッチングのための信頼性の高い高性能ソリューションです。高度なドライエッチイオンビームモデルを使用して、複数の操作を不要にすることで、優れた画像解像度を確保しながら、所有コストを最小限に抑えます。その堅牢なWindowsベースのプラットフォームは、生産および研究設定での使用に最適なさまざまな機能と制御を提供します。
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