中古 SEMITOOL Raider ECD 300 #9223828 を販売中
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ID: 9223828
Wet process etcher
EFEM
Main body
Monitor rack
Filter
Filter cover
Power box
Parts box
Pallet:
Blower filter
(6) Power supplies.
SEMITOOL Raider ECD 300は、半導体ウェーハの選択された部分に不透明で光感受性物質を適用してエッチングやその他の処理を行うフォトレジスト機器です。この装置は、フォトリソグラフィ用のパターニングの精度と信頼性を高めるために特別に設計されています。レイダーECD 300は、化学蒸着（CVD）のバリエーションである電子ビーム誘導化学蒸着（EBID）技術を利用しています。電子ビームがウェーハに向けられ、ウェーハの周りのガス中に電子とイオンが生成され、フォトレジスト材料と反応してウェーハの選択部分に不透明な毛布を形成します。このプロセスでは、フォトレジストのパターンを2 umピッチから500 umピッチまで検出し、制御することができます。SEMITOOL Raider ECD 300には、動作速度を向上させ、再現性と信頼性を高めるように設計されたハードウェアが付属しています。これにはオートフォーカスとウェーハレベリング機能が含まれ、フォトレジストパターンが効率的かつ正確に適用されるようにします。このシステムには、最小レチクル撮影時間のための自動ステージ回転も装備されています。Raider ECD 300には、400 nmから1000 nmの厚さのさまざまなフォトレジストをサポートする機能があり、高アスペクト比の機能を備えています。また、600°Cまでの高温および低温の片面レジスト処理も可能です。さらに、このユニットは高度な真空技術を備えており、信頼性の高いレジストスピンコーティングを可能にし、粒子の排出を低減し、チャンバーの寿命を延ばすことができます。SEMITOOL Raider ECD 300の高度な制御と高精度センサーにより、ウェーハ上にフォトレジストを一貫して適用できます。露出パラメータを厳密に制御することで、ウェーハ表面全体の均一な厚さを確保し、パターンの重要な寸法を正確に制御できます。全体として、Raider ECD 300は半導体デバイスの製造に最適なツールであり、高出力デバイス処理、SONOSメモリ、マイクロ流体チップなど、高速での精密パターニングを必要とするアプリケーションに適しています。このマシンの高度な機能と機能により、フォトリソグラフィーの信頼性と効率性が向上します。
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