中古 SEMITOOL Raider ECD 210 #9355393 を販売中
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ID: 9355393
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Electroplating system, 8"
Model no: R310PD2 (1SA2CFD1CAP) 08 (CuNi) 03
(3) Cassette WIPs
Linear dual arm robot
With single vacuum end effector
Advanced Replenishment Unit (ARU)
(2) Chemical Delivery Units (CDU)
(2) Heat exchangers
DI Boost pump
Fire suppression system
With (3) CO2 Bottles
Computers:
WIP Computer
Module Computer
Robot Computer
Controllers:
Front User Interface (FUI)
Rear User Interface (RUI)
502 Controller
Operating system: Windows embedded
Chamber mainframes:
CPC 2 / Capsule, backside clean and bevel etch
CPC 4 / ECD, CFD3M
CPC 7 / ECD, CFD3M
CPC 9 / SRD
Missing parts:
Rings and lip seals
Anodes
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 4 Wires, 3 Phase
2004 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 210は、半導体からMEMS製造までのアプリケーション向けに設計されたハイエンドフォトレジスト機器です。ウェーハや基板にフォトレジストを堆積・剥離して表面層を形成し、電子部品の構築を可能にするシステムです。正確なスキャンを統合し、レイヤー全体の均一なカバレッジを確保します。Raider ECD 210には、高度でユーザーフレンドリーなコンピュータ化ソフトウェアがあり、特に迅速な沈着と除去プロセス用に設計されています。このユニットは、オペレータがコーティング速度や速度、圧力や温度などの他のパラメータなど、プロセス全体をコンピュータにプログラムすることを可能にします。SEMITOOL Raider ECD 210は、必要な温度、攪拌速度、熱分解比を調整することにより、より良い物質制御を提供します。この機械は調節可能な回転速度および化学溶液の封じ込めを提供し、ウエファーか基質のフォトレジストの最適そして均一な沈殿を可能にします。それは寛大な柔軟性を提供し、ケイ素からの水晶に、異なった材料の広い範囲を扱うことができます。スピニングチャンバーは簡単に制御され、化学プロセスを迅速にセットアップできます。それはまた効果的に化学溶液を含み、フォトレジスト層の汚染を減らすことができます。Raider ECD 210には、化学物質の位置と保管を追跡するRFIDツールが装備されており、オペレータの安全性を確保します。また、コーティングプロセスの速度と圧力を正確に制御するための内蔵インターフェイスも提供されています。さらに、よりスムーズな動作と感光層の品質を確保するために、この資産は真空除去プロセスと統合されています。一貫した結果を提供するために、SEMITOOL Raider ECD 210は内蔵の監視および制御機能を備えています。このモデルは、高度な技術で設計されており、一貫して高い収量を提供します、所有権の低コストで。Raider ECD 210は、集積回路ファブリエーションやMEMSアセンブリなど、さまざまなアプリケーションに適しています。
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