中古 SEMITOOL Raider ECD 210 #293652808 を販売中

SEMITOOL Raider ECD 210
ID: 293652808
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2010
Electroplating system, 6" 2010 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 210は、さまざまなアプリケーションで高品質の結果を提供するように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、幅広いフォトレジスト材料を開発する際に、信頼性と安定した結果を提供するように設計されています。このユニットは、統合された光学イメージングマシンと高度な湿式処理コントローラで構成されています。光学イメージングツールは、6位置のフィルターホイールと8つのプラテン角を持つ光学アセットを備えた明るいハロゲン光源を利用しています。このモデルは、薄い基板上のレジストを50ミクロンと正確にイメージするように設計されています。また、光画像装置にはコンピューター制御のウェハステージが内蔵されており、加工中のフォトレジストにパターンを正確に登録できます。ECD 210ウェット処理コントローラは、薄い基板上でも幅広いプロセス化学製品を正確に提供するように設計されています。このウェットプロセッシングコントローラは、温度と湿度レベルだけでなく、レジスト化学のあらゆる変化を検出することができます。これは、正確で再現性のあるウェット開発プロセスを確実にするのに役立ちます。このシステムには、真空チャンバーとランタイム化学モニターが内蔵されているため、フォトレジスト処理の信頼性を確保できます。ECD 210は、幅広い基板やフォトレジスト材料に対応できるように設計されており、極めて解像度の高い薄い基板を撮影することができます。このマシンは、信頼性の高い正確な開発プロセスをユーザーに提供し、一貫した結果と歩留まりの改善につながります。さらに、ツールの高度な機能により、ユーザーはウェット開発プロセスを最適化し、時間とコストを節約できます。
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