中古 SEMITOOL Raider ECD 10 #9211215 を販売中

SEMITOOL Raider ECD 10は、直径10インチまでの基板の完全で反復可能な統合フォトレジストコーティングを提供するフォトレジストコーティング装置です。このシステムは、1バッチにつき最大16個のウェーハを収容でき、基板の表面全体に均一なコーティングを提供するように設計されています。レイダーECD 10は、最大600mmの印象的なコーティング幅を提供するデュアルヘッドスプレーヤー設計を採用しています。開発ヘッドには独自のラジアルスプレージェットが採用されており、広範囲な動作でウェーハをカバーできます。このソリューションは、コーティングプロセスと全体的な表面カバレッジの均一性を保証します。SEMITOOL Raider ECD 10には、完全なプロセス制御を提供するPCベースのコントローラが装備されています。圧力、溶液速度、幅、オーバースプレーなどの個々のスプレーヘッドパラメータを制御することができ、ウェーハ上の関心領域への正確な分配を保証します。メニュープログラムをナビゲートするのは簡単で、プロセスとパフォーマンスに関連する標準レポートだけでなく、最大50のプロセスレシピも記録されます。Raider ECD 10は、優れた耐久性と本質的な安全性をユーザーに提供する優れた材料で構成されています。ノズルハウジングはより長い生命を保障するためにステンレス鋼からなされ、ノズルは化学薬品の摩耗を減らすために陶磁器からなされます。化学薬品の摩耗を減らすため。単位の部屋はまた最高の安全のための二重層のステンレス鋼と密封されます。最後に、SEMITOOL Raider ECD 10は、多様な化学薬品やマスカントと互換性があるように設計されています。機械は最低の維持を要求し、特定のプロセス条件のために容易に調節することができます。