中古 SEMITOOL PSC-102 #9400846 を販売中

SEMITOOL PSC-102は、半導体ウェーハ加工やその他の高度なフォトリソグラフィ用途向けに設計された先進的なフォトレジスト加工装置です。完全に自動化されたインラインシステムで、優れたプロセス制御、ダウンタイムの短縮、プロセスの柔軟性の向上を実現します。このユニットは、ウェットエッチングチャンバーとスピンコータチャンバーという2つの主要なサブシステムを利用して、完全なフォトレジスト処理環境を提供しています。SEMITOOL PSC 102のウェットエッチングチャンバーは、反応溶液を使用してウェーハの基板表面からフォトレジスト層を除去します。これは、機械的および化学的ストリッピングの組み合わせによって達成されます。このチャンバーには、ウェーハの均一な回転を容易にする精密でプログラム可能な回転プラットフォームがあり、精密なノズルがエッチングソリューションを分配します。チャンバー内の紫外線LEDは、フォトレジスト層に必要な露光を提供し、エッチングされた境界内でより高い解像度を可能にします。このエッチング処理は、プログラマブルガスベントを使用することでさらに強化され、ウェーハの表面全体に非常に均一なエッチングが容易になります。スピンコーターチャンバーは、ウェーハ表面に薄いフォトレジスト層を均一に堆積させるように設計されています。このチャンバーには、ウェーハ回転用の精密な電動プラットフォームが収納されており、正確なソリューションを提供するための液体分注機が装備されています。スピンコータチャンバーには、大気環境やフォトレジスト蒸着をより良く制御するためのターボポンプユニットとガス分配ツールがさらに装備されています。デジタルカメラと強化された光学は、プロセスの検査を支援し、最適なプロセス結果を保証します。PSC-102はフォトリソグラフィと半導体製造のための効率的で自動化されたプラットフォームを提供する高度なフォトレジスト加工資産です。優れた信頼性の高いプロセス制御、ダウンタイムの短縮、プロセスの柔軟性の向上により、製品の歩留まりを向上させます。このモデルは、高度なフォトリソグラフィーアプリケーションに最適で、大量および小型のランウェーハ処理ニーズの両方に適しています。