中古 SEMITOOL PSC-102 #293820424 を販売中

SEMITOOL PSC-102フォトレジスト装置は、欠陥のないフォトレジストコーティングを正確に提供し、さまざまなウエハアプリケーション用に開発するために設計された高性能処理システムです。単位は機械を作動させ、プログラムすること容易にさせる高度のタッチ画面制御が装備されています。精密な温度・湿度制御、精密なスピン速度、タイマー制御、ディップコーティング能力をユーザーに提供することができます。さらに、このツールには強力なプロセスモニタリングアセットが装備されており、膜均一性や厚さなどの他の重要なレジストパラメータをチェックできます。SEMITOOL PSC 102モデルには、ウェハ表面洗浄とフォトレジスト除去の両方に使用されるレジストストリッパーモジュール（RSM）も装備されています。RSMは、超音波洗浄室、基板プロセッサ、ドライファンテーブルで構成されています。ウエハーにフォトレジストをコーティングする前に、基板の除去を確保し、適切な表面清浄性を確保するために超音波チャンバーが使用されています。基板プロセッサは、基板およびウェーハ洗浄、レジストストリッピング、およびウェーハの乾燥を提供する責任があります。最後に、乾燥ファンテーブルは、残りのレジストをすばやく解放するように設計されており、製品の廃棄物や汚染を避けるのに役立ちます。装置には、粉末供給ホッパー、エアシャワー、モジュラー高速スピンステーション、自動ハンドリングシステムなど、いくつかのオプション部品が付属しています。粉の配達ホッパーは磁気抵抗および慣習的なフォトレジストを貯え、分配するのに使用されています。エアシャワーは、優れたフォトレジストコーティング、開発、およびエッジインテグリティを促進するために、ウェーハに周囲環境とバリア環境を提供するために使用されます。モジュール式の高速スピンステーションは、ウェーハのロープロファイルを可能にすることにより、さらなる柔軟性を提供し、スピンプロセスの高い信頼性と精度を保証します。自動化されたハンドリングシステムは、従来のフォトレジストや最新の高度なフォトレジストなど、さまざまなフォトレジストを取り扱うカスタムメイドです。各自動システムは、信頼性と安全な動作を確保するために細心の注意を払って設計されています。要するに、PSC-102フォトレジストユニットは、正確な制御と信頼性の高いパフォーマンスをユーザーに提供する高性能処理ソリューションです。その機能とオプションは、ユーザーのニーズと要件を満たすための幅広いオプションと柔軟性を提供します。