中古 SEMITOOL PSC-102 #293642734 を販売中

SEMITOOL PSC-102は、フォトリソグラフィープロセス中にウェーハを化学的および光源に均一に露出させるように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、デリバリーステーションと露出ユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。デリバリーステーションは、露出ユニットにウェーハを移動させるために使用されます。ステーションには2つのカセットがあり、それぞれが最大15個のウェーハを保持しています。ウェーハをカセットから露出ユニットに3軸アライメント機構を使用して転送し、ウェーハと露出ユニットをデリバリーカセットから直接アライメントします。また、オートメーションソフトウェアを使用してカセット、ウェーハトランスポート、露出パラメータを制御します。露出ユニットは機械の心臓部であり、ウェーハを光にさらすために使用されます。このユニットは、異なるタイプのフォトレジスト材料のための輝度の異なるレベルに設定することができ、高輝度ランプを収容しています。このユニットは露光時間を正確に制御することもできます。露出区域は塵および他の汚染物から保護を提供して密封されます。このツールは、ユーザーとウェーハが放射線から保護されていることを確認するための高度な安全対策も提供します。さらに、SEMITOOL PSC 102は、上流および下流のプロセス制御を自動化します。これには、正確な露出時間とレベルを追跡するための正確なモニタリングアセットと、以前に使用した露出設定を保存およびリコールする機能が含まれます。これらの機能は、均一で反復可能なフォトレジストパターンの生成を確実にします。全体として、PSC-102はフォトレジストパターニングのための自動化された効率的で信頼性の高いモデルです。モジュラー設計と安全機能により、ウェーハを生産中に駆動することができ、汚染や過剰露出からライトまでの保護を提供します。自動化された制御装置と上流/下流のプロセス制御装置により、正確で反復可能なフォトレジストパターンを簡単に作成できます。