中古 SEMITOOL PSC-101 #9400845 を販売中

SEMITOOL PSC-101は、フォトリソグラフィ、フォトレジストパターニング、エッチングプロセスなどのフォトレジスト材料のエンドユーザー処理用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、チャンバー、コンピュータ制御ユニット、シャッター、コンベア、レーザー光線制御機構で構成されています。このチャンバーは、フォトレジスト塗装プロセスへの外部要因の影響を最小限に抑えるクリーンで制御された環境を提供するように設計された気密エンクロージャです。チャンバー機能には、基板表面にほこりや小さな粒子が収まらないようにする真空および濾過ユニットが含まれます。さらに、チャンバーは窒素ベースのガスでパージすることができ、温度制御機能を持つことができます。コンピュータコントロールユニットを使用すると、圧力、時間、レーザー出力設定など、マシンのさまざまなパラメータを制御できます。コントロールユニットは、ソフトウェアアップグレード、アラーム通知、デジタル読み出し、およびその他のプログラミング機能などの機能も提供します。シャッターは、フォトレジスト材料にパターンを形成するために、垂直レーザービームをトリガーするように設計されたデバイスです。SEMITOOL PSC 101ツールの特徴は、信頼性が高く正確なシャッターであり、フォトレジスト材料を無駄にせず、所望のパターンを正確に形成することができます。このコンベアは、チェーン駆動のベルトとその他の様々な部品で構成されており、被覆基板をチャンバーから開発ステーションに輸送するために使用されます。コンベアは、振動を最小限に抑え、最適な作業条件のために基板の均一な動きを可能にするように構成されています。レーザービーム制御機構を使用してレーザービームを正確に導き、フォトレジストを制御することができます。レンズと反射板のコレクションは、レーザー光を精密に基板に集中させ、集中させるために使用されます。PSC-101アセットには、ユーザーがレーザービームを一時停止して調整できる「ジョグモード」も用意されており、正確で正確なフォトレジストアプリケーションが発生することを保証します。全体として、PSC 101は、高精度のフォトレジストアプリケーションとコーティングを処理するために設計された信頼性の高いフォトレジストモデルです。装置は厳密な処理の制約を満たすことができ、各ユーザーのニーズに合わせて調整することができます。このシステムは非常に汎用性が高く、多くのフォトレジストアプリケーションに最適なソリューションを提供します。