中古 SEMITOOL PSC-101 #9268658 を販売中

SEMITOOL PSC-101は、幅広いプロセス工程におけるフォトレジスト材料の開発と成膜のために設計された多目的フォトレジスト装置です。このシステムは、ユーザーが各アプリケーターに最適な材料パラメータを定義およびカスタマイズすることができ、スピンコーティングと光学イメージングの両方の機能を備えています。このユニットは、制御されたスピン速度、加速度、減速を基板に供給することによって動作します。0〜10,000rpmのスピンコーティングと10〜600rpm/sの加速が可能です。また、基板とコーティングヘッドの高さの違いを自動的に補正し、均一なコーティングを保証することができます。SEMITOOL PSC 101の光学イメージング機能により、フォトレジストの正確なイメージングが可能です。このツールには、高性能のイメージングオプティクスと独自の「キャプチャ」および高速かつ正確な画像キャプチャのための制御エレクトロニクスを「公開」しています。このアセットにより、露光時間を正確に制御することができ、一貫性のある結果と再現性が得られます。このモデルには、ユーザーがアプリケーションをカスタマイズできるさまざまな機能が含まれています。PSC-101は最大4種類のタンクを装備でき、幅広いフォトレジスト素材の使用が可能です。さらに、装置を完全に自動化されたプロセスに統合し、スループットを向上させ、労働力強度を低減することができます。PSC 101フォトレジストシステムは、アプリケーション開発に柔軟なソリューションを必要とするユーザーにとって優れた選択肢です。このユニットは、優れた精度と再現性を提供し、汎用性の高い材料安定性とイメージング機能を備えています。機械の柔軟なプログラミングと自動化された機能により、迅速なプロセスと労働力強度の削減も可能になります。