中古 SEMITOOL PSC-101 #9206783 を販売中

SEMITOOL PSC-101は、高精度の製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジストを半導体ウェーハに蒸着するために設計されており、蒸着プロセスの均一性と精度を確保しています。このユニットは、UV光源を使用してウェーハに特殊な光感受性コーティングを露出させ、望ましい製造機能の負のイメージを形成します。SEMITOOL PSC 101は、レーザー制御された3位置ステージを備えており、チャンバー内のウェーハの正確な位置決めと移動を可能にします。このマシンには、安定したサンプル環境を構築するために十分な真空およびパージ処理を提供するロードロックモジュールも含まれています。このツールは、フォトレジストフィルムの厚さに応じてレーザービームの焦点を自動的に調整する機能も備えています。コーティング厚さ分布は、デジタルカメラとカラーモニターを介して視覚的に表示され、技術者は堆積プロセス中にフォトレジスト層を正確に監視することができます。PSC-101には、ウェーハ処理用のコンベアベルトアセットや自動温度制御モデルなど、さまざまな高度な制御も含まれています。本装置は、フォトレジスト蒸着プロセスにおいて高精度、再現性、均一性を提供するよう設計されています。さらに、このシステムは低単位の維持および長い機械寿命のために設計され、ユーザーが機械に長期投資をすることを可能にします。結論として、PSC 101はフォトレジスト層を半導体ウェーハに堆積させるための理想的なソリューションです。このツールは、優れた制御と精度、および低いメンテナンス、長いライフサイクル、およびウェーハの精密加工のための高い再現性を提供します。