中古 SEMITOOL PSC-101 #9194999 を販売中

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipmentは、フォトレジストでウェーハを洗浄しコーティングするための正確で信頼性の高いソリューションを提供します。これは、自動カセットからカセットウェハハンドリングプロセスで達成され、毎回一貫した結果が得られます。最新のコンピュータソフトウェア、高度なコントローラ、高解像度モニターを備えた最新のシステムです。SEMITOOL PSC 101は、統合されたPCベースの処理コンピュータで高度なプロセス制御を行うように設計されています。これにより、ロット処理前のタスクの準備、ワークグループ管理、リモート監視機能などの機能が強化されます。ユーザーには、特定のプロセスのデータと設定を保存して繰り返し使用する機能も提供されます。このユニットは高解像度のモニターを備えており、フォトレジストコーティングの厚さと均一性を視覚的に検査することができます。また、仕様外のフォトレジストを検出できる高速で信頼性の高い監視機を備えています。このツールはまた、表面欠陥を検出するウエハ検査オプションを備えています。PSC-101は、ウェーハ全体に均一で一貫したフォトレジスト温度を10秒未満で提供するように設計された自動ホットプレートを備えています。これにより、すべてのウェーハに一貫した品質が保証されます。フォトレジストは、調節可能なスピン速度でディスペンス法またはスピンコーティングを使用して適用されます。これにより、処理全体にわたって再現可能な結果が保証されます。フォトレジストのアセットには、2つの熱洗浄チャンバーが装備されており、予熱および温度制御により効果的な洗浄が可能です。その後、高速で効率的な洗浄時間を可能にする大容量の洗濯オプションが続きます。フォトレジストモデルは、安全で効率的な操作を可能にするためにベントされています。PSC 101の操作は、すべての機器操作に提供される明確なメニュー駆動インターフェースでユーザーフレンドリーに設計されています。これにより、ユーザーはさまざまなオプションから選択し、いつでもプロセスのステータスを監視することができます。また、複数のアラームを使用して、プロセスの問題をユーザーに警告し、迅速な応答を可能にします。全体として、SEMITOOL PSC-101フォトレジストシステムは、フォトレジストの取り扱いとコーティングに信頼性の高い効率的なソリューションを提供します。自動化されたカセットからカセットウェーハの取り扱いにより、一貫した結果を提供するように設計されており、さまざまな用途に適合することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェースは、ユーザーがプロセスの状態を迅速かつ正確に監視できる使いやすいマシンを保証します。