中古 SEMITOOL PSC-101 #9185381 を販売中

SEMITOOL PSC-101フォトレジスト装置は、さまざまな半導体製造タスクに使用できる高度なウェット処理システムです。ウエハサイズは300mmまで対応可能で、ロジックユニット、精密噴霧装置、トラックアセンブリ、ウエハハンドリングシステム、レジスト処理ステーションなど、いくつかのモジュールで構成されています。ロジックユニットは、マシンの中心部分であり、すべてのサブユニットの動作を担当するメインコントローラです。それはツールの脳であり、資産のすべての個々の部分を制御します。精密噴霧装置は、フォトレジスト用途に最適な微細スプレーに液体を噴霧するように設計されています。トラックアセンブリはモデルのバックボーンであり、スプレーステーションとレジスト処理ステーションの間のウェーハの輸送を担当しています。ウェーハハンドリング装置は、ウェーハの動きを調整し、ハンドリング中の正確性と安全性を確保します。レジスト処理ステーションは、自動的にウェーハをロードしてアンロードし、フォトレジストが適用されている露出ステーションを通過します。SEMITOOL PSC 101は、フォトレジストコーティングの効果的で自動化されたソリューションです。Dry-in-Place機能により正確で信頼性が高く、処理時間が短縮されます。また、運転中の廃棄物や汚染のリスクを最小限に抑えるアンチスプラッシュキャップを装備しています。システムは耐久性および安全な操作を保障する高い等級材料から成っています。PSC-101は、最先端の半導体製品を作成するための素晴らしいツールです。