中古 SEMITOOL PSC-101 #9184604 を販売中

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SEMITOOL PSC-101
販売された
製造業者
SEMITOOL
モデル
PSC-101
ID: 9184604
Spin rinse dryers Module: Wet etcher.
SEMITOOL PSC-101は、電子機器、光電子機器、フォトニクス機器の製造における高度なリソグラフィープロセスを支援するために設計されたフォトレジスト機器です。半導体業界では、フォトレジストシステムが最先端の半導体デバイスの製造において重要な役割を果たしています。SEMITOOL PSC 101は、中規模およびスタートアップアプリケーション向けに特別に設計されており、最新のレジストアプリケーション技術を使用して、信頼性と費用対効果の高いリソグラフィープラットフォームを提供します。PSC-101の光学系には、テレセントリックレンズとスリットスキャンレンズの2つの自動光学要素が含まれています。また、高速基板の積み降ろし用の自動スライドカムカートリッジや、基板を基板トレイに選択して積み込むためのモーションコントロールロボットプラットフォームなどのユニークな機能も搭載しています。機械にまた微妙なプロセスを微粒子の汚染から保護するように設計されている完全に統合された汚染物の制御用具があります。汚染物制御アセットは、ポイントソースのUVフィルターと絶えず避難し、フィルタリングされたエアロックモデルを利用しており、メンテナンスや修理に必要なクリーンルーム介入の数を減らすように設計されています。PSC 101はまた、フォトレジストシステムにとって重要な機能である高温アプリケーションでの性能について徹底的にテストおよび検証されています。全装置は手動介入のための必要性の連続的な操作で、動くように設計されていません。最終的に、SEMITOOL PSC-101は、優れた性能、最高の信頼性、ユーザーフレンドリーなオートメーション、製造における費用対効果を提供するため、高度なリソグラフィーアプリケーションに最適です。
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