中古 SEMITOOL PSC-101 #9175503 を販売中

SEMITOOL PSC-101フォトレジスト装置は、重要な半導体製造プロセスで使用される非常に効果的で信頼性の高い機械です。ウェーハや基板表面のフォトレジストを高精度かつ高精度にパターン化するように設計されています。SEMITOOL PSC 101は、量産用途に最適で、市販のあらゆるタイプのフォトレジスト材料と互換性があります。このシステムは、フォトレジストトレイ、ウェーハプラテン、スリットプロジェクターなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。フォトレジストトレイは、最大6本の標準フォトレジストボトルを収納できるように特別に設計されています。ウェーハプラテンには、業界標準のDCステッピングモーターを搭載したY軸ステージがあり、エンコーダが付属しているため、ウェーハがプラテンを横切って正確かつ再現可能に移動します。ユニットには、露出中にフォトレジストをパターン化するスリットプロジェクターも含まれています。このスリットのプロジェクターは特別なretroreflectorの整理および多数のズームレンズを特色にする高度の映写光学機械です。これらのレンズは、ユーザーが正確にフォトレジストをパターン化するために投影画像のサイズと形状を調整することができます。最後に、このツールには、危険な放射線への人員の暴露を防ぐために設計されたさまざまな安全機能も含まれています。このアセットは、差圧検出回路とエアカーテンを備えた統合安全シャッターを使用して、オペレータを放射線漏れから保護します。インテグラルセーフティシャッターは、停電時にモデル封じ込めレンズから逃れる可能性のある放射線を自動的に遮断します。PSC-101は、大量生産環境に最適な高精度で信頼性の高いフォトレジスト機器です。高感度、高精度の電子部品を完全性と品質で作成できるように、必要な精度、精度、安全性を提供します。