中古 SEMITOOL PSC-101 #9173289 を販売中

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipmentは、フォトレジスト操作用に設計された、フル機能の自動ウェット処理システムです。多種多様な機能を持つモジュラースタイルのユニットです。それは異なった装置部品を収容する本体および機械に基質に荷を積むのに使用されるオートローダーから成っています。フォトレジストツールは、前処理、レジストコート、露出後のベーク、開発、ストリップ/リンス処理など、フォトレジスト材料を開発および堆積するためのいくつかの異なるプロセスで構成されています。個々のコンポーネントは、これらの各ステップに最適なパフォーマンスを提供するように設計されています。前処理プロセスには、基板が酸化されるPECVDが含まれますが、レジストコートプロセスは基板にフォトレジストを均一に適用するように設計されています。露出後のベーキングプロセスは、フォトレジストを硬化させ、溶媒を蒸発させるように設計されていますが、開発プロセスでは、露出していないフォトレジストを除去するためにホットスプレーまたは無電解法のいずれかを使用します。ストリップ/リンスプロセスは、ウェーハから残りのフォトレジストを除去します。Photoresist Assetは、SEMITOOL Printing Model Interface （PSI）ソフトウェアを使用して制御されます。装置の操作はPSIソフトウェアを通じて完全に自動化されており、すべてのプロセスで精度、均一性、再現性を実現します。オートローダー機能に加えて、基板ローディングや手動レジスト調整など、さまざまな手動プロセスでシステムを設定することもできます。フォトレジストユニットは、操作、メンテナンス、アップグレードが簡単に行えるように設計されています。接続機能とリモートI/O機能により、リモート操作、リアルタイム監視、および機械診断が可能です。また、MAGトラックが許容範囲外になった場合のレジストクエンチの自動シャットオフなど、予防メンテナンスのためのいくつかのオプションを使用して、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。全体として、SEMITOOL PSC 101フォトレジストツールは、高品質のフォトレジストプロセスに精度、再現性、および最小限のダウンタイムを提供するように設計された、高効率で自動化されたウェット処理アセットです。コネクティビティ、リモートI/O機能、予防メンテナンスオプションなどの機能により、半導体デバイスの製造、研究、およびその他のフォトレジスト操作に最適です。