中古 SEMITOOL PSC-101 #9060137 を販売中

SEMITOOL PSC-101フォトレジスト装置は、自動脱着後の接触抵抗プロセスに最適な性能を提供するように設計されています。SEMITOOL PSC 101は、コンフィギュレーション可能な統合ケミカルデリバリーシステム（CDS）を搭載しており、酸またはアルカリ溶液を含むほとんどすべての有機および水系化学物質との互換性を目的として設計されています。このユニットは、接触抵抗と除去後の抵抗の両方のプロセスパラメータを正確に制御することができます。CDSは、オンボードの化学供給と自動補充という形で、正確で再現性のある信頼性の高い化学供給を提供します。この機械のケミカルデリバリーツールには複数の貯水池があり、それぞれ独自の計量資産を備えています。さらに、CDSには、正確なプロセスタイミングシーケンスを作成するためのデジタルコントローラと、最大99種類のレシピを保存するための包括的なプロセスパラメータストレージリストが含まれています。PSC-101はレジストの適用に関して柔軟性のために設計されています。基板には、スピンコーティング、スプレーコーティング、ディップコーティングなど、さまざまな実装オプションがあります。さらに、広範囲のシャワーヘッドや銃を使用してスループットを向上させることができます。また、温度管理された洗浄チャンバーを備えているため、温度管理された洗浄と除去後のプロセスを利用することができます。温度制御された洗浄チャンバーは、ユーザーに高品質で制御されたポストストリッピングプロセスを可能にする制御誘電層を提供します。PSC 101は、パッシベーション層の自動適用など、プロセスを強化するためのプラットフォームとしても機能します。自動化された不動態化層は、はるかに高い歩留まりを生成することが知られており、汚染による故障率を低減するのに役立ちます。このプロセスは、自動化された誘電体コーティングディスペンスヘッドをメーターに使用し、複数のパッシベーションを精密に制御します。さらに、SEMITOOL PSC-101は、簡単なサービスとメンテナンスのために設計されています。エンドユーザーの保守可能なモジュールに簡単にアクセスできるため、ユーザーはプロセスの問題を迅速に診断し、機器を最適なパフォーマンスに復元できます。SEMITOOL PSC 101フォトレジストシステムは、ストリップ後のコンタクトレジストやその他の特殊プロセスに制御され、繰り返し可能なプロセスを提供します。そのCDSは、化学物質の配送とプロセスパラメータを正確に制御することができます。一方、複数の実装オプションとピーク性能の温度制御洗浄チャンバーにより、温度制御リンスを必要とするプロセスを最大限に活用することができます。さらに、品質を向上させ、故障率を低減するための強化されたプロセスをユーザーに提供し、エンドユーザーの保守可能なモジュールを介して簡単なサービスとメンテナンスへのアクセスを可能にします。