中古 SEMITOOL PSC-101 #293814168 を販売中

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipmentは、フォトレジストを処理および開発するための信頼性が高く、高速で、高効率なシステムです。このユニットは、スピンコーティング、スプレーコーティング、開発、ベーキング、改ざん、エッチングなど、さまざまなフォトレジスト用途に使用されます。SEMITOOL PSC 101の中心は、機械のプロセスパラメータを正確かつリアルタイムに制御するコントローラです。これにより、フォトレジストプロセス全体でエンドツーエンドの再現性が確保され、ユーザーは一貫して高品質の結果を得ることができます。PSC-101は、複数のディスペンス、加熱スプレッダ、誘電体モータを使用して、高い均一性と精度を実現しています。このツールの容量と柔軟性により、パターン幅、厚さ、移動速度などのさまざまなフォトレジストコーティングパラメータが可能になります。アセットには統合されたマイクロプロセッサも備えており、プロセス全体のすべてのパラメータを積極的に監視します。これにより、コーティングと開発シーケンスが一貫して反復可能であり、フォトレジストが最適なレベルで維持されることが保証されます。PSC 101で使用される誘電体モータは、スピンプレートの正確な位置決めも保証します。このモデルはさらに、イオン化キットなどの組み込み安全プロトコルを提供し、プロセス中に有害な化学物質への暴露から人員を保護します。SEMITOOL PSC-101は、ユーザーのニーズに応じて、ドライペンダントまたはウェットラインプロセスも可能です。さらに、SEMITOOL PSC 101はあらゆる種類の汚染を防ぐために低圧環境で使用するように設計されています。設備には大容量の化学タンク、排水サンプ、貯水槽も含まれており、効率的な液体管理が可能です。ステージマスクやイマージョンバスなど、フォトレジストプロセスを完成させるために様々なアクセサリーも用意されています。PSC-101フォトレジストシステムは、中規模から大規模のフォトレジストアプリケーション向けに設計された信頼性の高い効率的なユニットです。フォトレジストの精密かつ再現可能な分配と配送、および統合された安全機能とプロセス監視プロトコルを備えています。ステージマスクやイマージョンバスなどのアクセサリーは、効率的でプロフェッショナルな結果を保証するために機械と一緒に使用することもできます。