中古 SEMITOOL PSC-101 #293746635 を販売中

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipmentは、半導体デバイス用のフォトレジストおよびフォトレジストソリューションの取り扱い、開発、除去を目的とした化学ウェットベンチです。SEMITOOL PSC 101は、高精度で少量のディスペンス機能を備えたケミカルデリバリーシステムを備えたシングルタンク浸漬機能を備えています。メンテナンスフリーと温度制御の2つのヒーターを備えており、複数のIC処理プロトコルの要件を超えながら、最適なエッチング、レジストストリッピング、および化学溶液フィルム特性管理を提供します。すべてのプロセスはユーザプログラミング可能で、圧力、温度、流量、プロセス全体の長さなど、関連するすべての変数を制御できます。PSC-101は、酸およびDIタンクをサポートするデュアルドレインユニットと金属（磁気）粒子ろ過機を備えており、金属酸化物やその他の汚染物質を自動除去し、廃棄物と処理コストを削減します。PSC 101は、直径8インチまでの基板に対応可能で、既存のフォトマスク、ウェーハ、マスク製造システムに簡単に組み込むことができるコンパクトで柔軟性の高い機械です。SEMITOOL PSC-101は高度にプログラム可能であり、アップグレード可能であり、ユーザーはアプリケーションの正確な要件に合わせてツールを調整することができます。SEMITOOL PSC 101には、資産の完全性を継続的に監視し、フォトレジストの一貫した処理を確実にするために、複数のセンサーが装備されています。このモデルには、外部プロセス制御システムに接続するための強力な4チャンネルのリモートコントロールインターフェイスも装備されています。水性スプレーリンスノズル構成、液面インジケータ、複合ウェーハインデクサPSC-101、幅広い加工技術が可能です。さらに、装置は、ユーザーと敏感な化学薬品の両方を保護するために組み込まれた安全システムで設計されています。PSC 101は、フォトレジスト合成および処理のための柔軟で効率的なソリューションを提供し、プリフォトニックブレード製造、統合フォトニックデバイス製造、マイクロマシニングなどの高度な半導体アプリケーションの要求に容易に適応できます。高解像度の処理チャンバ、精密な化学投与ユニット、および複数の外部プロセス制御システムとの互換性により、理想的な選択肢となります。