中古 SEMITOOL PSC-101 #293725377 を販売中
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SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipmentは、フォトリソグラフィ用途向けに設計された精密コーティングツールです。このシステムは、さまざまな機能と機能を備えており、フォトレジストを半導体ウェーハに正確かつ一貫してコーティングすることができます。本体、パワーモジュール、プロセスコントローラ、ノズル、マスクプレートが主な部品です。マシンの本体には、ドライブモーターとトランスミッション、サポートペグツール、および圧力供給メカニズムが含まれています。パワーモジュールは、ドライブの速度と電力要件を制御し、電気コネクタの供給を処理します。プロセスコントローラは、フォトレジストやクックパラメータの分布など、電源設定からコック設定までを制御します。その後、ノズルはウェーハの表面にフォトレジストを配します。最後に、マスクプレートを使用して、フォトレジスト層を基板に正確に配置します。フォトレジストプロセスは2つの方法で行うことができ、1つ目は回転ウェーハステージの使用、2つ目はマスクプレートの使用です。回転ウェーハステージは、真空チャックを使用してウェーハを所定の位置に保持し、ウェーハを回転させるターンテーブルを使用します。これにより、ユーザーはウェーハを回転させて、フォトレジストを表面に正確かつ均一に塗布することができます。マスクプレートの技術は、層の間の任意のオーバーラップを避けながら、ウェーハの両側に均一なコーティングを作成するために使用されます。SEMITOOL PSC 101 Photoresist Assetのコントローラには、さまざまな機能と設定があります。プロセス時間、電流、温度、圧力など、フォトレジストのアプリケーションを正確に制御するようにプログラムすることができます。コントローラには読みやすいインターフェースがあり、ユーザーは設定を一目で調整して追跡することができます。さらに、このモデルは、温度、湿度、圧力の変化に応じてパラメーターを自動的にシフトする自動補償機能を提供します。PSC-101フォトレジスト装置は、フォトリソグラフィープロセスのための便利で効率的で正確なツールです。ユーザーフレンドリーに設計されており、幅広い機能と設定を提供し、半導体ウェーハにフォトレジストを迅速かつ正確にコーティングできるため、時間とコストを節約できます。
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