中古 SEMITOOL PSC-101 #293639634 を販売中

SEMITOOL PSC-101
製造業者
SEMITOOL
モデル
PSC-101
ID: 293639634
Spin dryer.
SEMITOOL PSC-101フォトレジスト装置は、エレクトロニクスおよびマイクロエレクトロニクス分野における小型、高解像度の部品の正確な生産のために特別に設計された包括的で包括的なリソグラフィーシステムです。SEMITOOL PSC 101は、自動化された制御および監視システムだけでなく、高度な光学系、精密レーザー温度制御および環境管理システムを利用しています。単位は3つの主要な部品から成っています。これらは次のとおりです。フォトレジストを適用して除去するフォトレジストスピンマシン。フォトレジスト基板を正確に露出させる高解像度露光ツール。そして部品をきれいにし、開発し、そしてエッチングする湿った処理の場所。フォトレジストのスピンアセットは、統合されたコントローラ、スピンモーター、スピンチャック、真空ポンプで構成されています。露光モデルは、レーザー制御とフォーカス装置を備えており、露光源の距離と角度を正確に制御できます。これにより、高輝度の露光が保証され、非常に高い解像度が得られます。最後に、湿式加工ステーションは、温度、圧力、およびその他のパラメータなどの変数の自動化されたプロセス制御で、コンポーネントの制御エッチングと洗浄を可能にします。PSC-101は、非常に小さな形状、高解像度部品、その他の繊細な部品の製造など、さまざまなフォトレジスト加工ニーズに対応する包括的なソリューションを提供しています。高度なシステム設計により、高い信頼性、精度、再現性が保証され、あらゆる精密加工ニーズに最適です。
まだレビューはありません