中古 SEMITOOL PSC-101 #293600518 を販売中

SEMITOOL PSC-101は、SEMITOOL、 Inc。が開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、製造メーカーが高精度かつ高品質な製品を迅速かつ正確に製造できるように設計されています。このユニットの主なコンポーネントには、クリーンルーム制御プロセスチャンバー、自動基板搬送ロボット、スプレーロボットなどがあります。プロセスチャンバーは、フォトレジスト処理用のクリーンで滅菌性の高い環境を提供するように設計されており、統合された自動結合プロセスを備えているため、迅速かつ信頼性の高い基板開発が可能です。自動化された基板搬送ロボットは、ウェーハを入力から出力に安全かつ制御された方法で搬送します。最後に、スプレーロボットには、基板上にフォトレジストを均一に適用する高精度のノズル装置が装備されています。このツールは、シリコンウェーハ、ガラス、石英、ポリイミドなど、さまざまな基板に対応できます。また、ポリイミドパリレン、ポリイミドフェルタノール、ポリイミドポリアミド、ポリイミドSiLK、 ポリイミドBN、ポリイミドアクリルなど、いくつかの異なるコーティングを提供します。このアセットには、DryFilm Autoloader、 Resist Type III （Type TX-1）、 DryFilm AP300、 Resist Exposure Kitなど、幅広いフォトレジストを使用できます。さらに、このモデルは、フォトレジスト過敏症のためのさまざまなレーザーで使用することができます。SEMITOOL PSC 101のプロセスチャンバーには、精度を高めるいくつかの機能が装備されています。急速熱処理装置、温度制御チャンバー、デュアル基板ヒーター、均一性制御システム、プロセスモニタなどがあります。急速な熱処理ユニットは、サイクル数を最小限に抑えて高品質のスプレーを作成し、サイクル時間を短縮し、効率を向上させることができます。温度制御されたチャンバーにより、チャンバーの温度を0〜500°Cから制御することができ、正確で再現性のある結果を得ることができます。二重基板ヒーターは、処理中に基板を同じ温度に保ちますが、均一な制御機械は均一な露出を保証します。最後に、プロセスモニタを使用すると、ユーザーはフォトレジスト露光プロセスを監視することができ、メーカーは潜在的な問題を迅速に診断して対処することができます。PSC-101は、精度を高め、サイクルタイムを短縮しようとするフォトレジストメーカーにとって理想的なツールです。自動化されたプロセス、クリーンルーム制御プロセス、および幅広い互換性のあるフォトレジストを備えたこのツールは、品質を向上させ、コストを削減できる信頼性の高い効率的なツールです。