中古 SEMITOOL PSC-101 #137503 を販売中

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipmentは、複雑なマイクロエレクトロニクス製造プロセスのための強力で信頼性の高い自動処理システムです。高度な電子部品やデバイスを作成するための高い柔軟性と費用対効果を提供します。SEMITOOL PSC 101は、レジスト開発、コーティング、スピニング、ベーキングなどのプロセスで動作するように設計されたデュアルチャンバーユニットを備えています。加熱されたベークプレートは、最大200°Cの温度範囲と5°C/分の均一な速度を提供し、プログラマブルタイマーは最大180秒の時間範囲を提供します。また、取り外し可能な洗浄バスケット、過剰混入を防ぐセンサー、少量の洗剤供給工具、排水タンクを備え、簡単な洗浄とメンテナンスが可能です。PSC-101は、直感的なタッチスクリーンインターフェイスを使用して、グラフィックス駆動のプログラミングを簡単かつ簡単にします。この機能を使用すると、コーティングパラメータを素早く設定し、目的の層の厚さプロファイルを確立できます。それはまた繰り返し方法のための事前にプログラムされた処理の調理法を記録し、貯えるのに使用することができる。PSC 101は、各チャンバーに2つの独立したソースを使用して、迅速かつ効率的なフォトレジストコーティングと開発を可能にします。フロントカバーにアクセスしやすいので、ウェーハ交換時にも便利です。SEMITOOL PSC-101は、マスクアライメントとリソグラフィ精度に特化した高度な機能も提供しています。特許取得済みのMaskMaster光学アライメントアセットにより、サブミクロン、オンザフライのアライメントが可能になり、ウェーハの迅速かつ正確なアライメントが可能になります。左右のプリントヘッドは、迅速なアライメント時間と再現性を向上させ、デュアルエマルジョンスピンモデルにより、1つのウェーハで同時にスピンすることができます。要約すると、SEMITOOL PSC 101は、高度で信頼性が高く、費用対効果の高い機器であり、要求の厳しい産業アプリケーションのニーズを満たすために幅広い機能と機能を提供します。それは生産性を高め、フォトレジストのコーティングおよび開発のようなプロセスの巧妙な実行に要する時間を減らすように設計されている強力なオートメーションシステムです。