中古 SEMITOOL PDC621-P / FSS-221 #168414 を販売中

ID: 168414
System Developer and Stripper for Photoresist Power: 208 VAC, 60 Hz, 30 Amps.
SEMITOOL PDC621-P/ FSS-221フォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクスと半導体生産プロセスのための素晴らしいツールです。これは、非常に信頼性の高い正確なフォトリソグラフィ機器を必要とする高度なマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための最適化されたプラットフォームです。このシステムは、信頼性の高いウェットプロセスソリューションを提供し、超微細な機能サイズと高スループットを生成することができます。PDC621-P/ FSS-221は、ハードウェアコンポーネント、ソフトウェアツール、プロセスレシピを組み合わせて提供し、さまざまな基板材料やさまざまなアプリケーションをサポートします。高度な自動制御と大きなワークスペースを備えたユニークな反転ギアリフト設計を備えており、スループットの向上、粒子生成の削減、プロセス精度の向上、優れた均一性を提供します。ユニットのハードウェアコンポーネントには、SEMITOOL PDC621-P/ FSS-221レジスト加工チャンバ、PADC621-P/FSS-221往復ウェハステージ、Pomsong Mシリーズ光源が含まれます。プロセスレシピは、ユーザーの仕様とプロセス要件に合わせて調整され、基板材料、フォトリソグラフィーのジョブ、アプリケーションの種類に幅広いオプションを提供します。ソフトウェアツールは、一貫した信頼性と予測可能なプロセスを保証するために、統合されたプロセス制御およびデータロギング機能を提供します。PDC621-P/ FSS-221機械はガラスおよび石英からのケイ素、ガリウムヒ素および窒化ガリウムへの基質の広い範囲を支えることができます。また、耐酸性、耐溶剤性、耐熱性レジスト製剤など、さまざまな化学物質にも対応しています。このツールは、さまざまな特性と厚さを持つさまざまなフォトレジストレイヤーを処理することができ、お客様は特定のレイヤプロパティと目的のデバイス性能に合わせて生産プロセスをカスタマイズすることができます。この汎用性の高い資産は、MEMS、データストレージ、家電、ハイエンドデバイスアプリケーションに最適です。プロセスパラメータを正確に制御し、フォトリソグラフィの精度を向上させることで、高い歩留まりを実現します。さらに、このモデルは非常に微細なフィーチャーサイズを生成することもできます。SEMITOOL PDC621-P/ FSS-221は、高性能マイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための優れたツールです。その高度な設計と直感的なソフトウェアツールは、優れたプロセス精度と均一性を備えた信頼性の高いフォトリソグラフィ装置です。これにより、お客様はパフォーマンスを犠牲にすることなく、最高のマイクロエレクトロニクス生産ソリューションを楽しむことができます。
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